[发明专利]一种用于溅镀载具的清洁装置

说明书

本发明公开了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，包括：紧固在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。实施本发明的用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。

技术领域

本发明涉及面板制作领域，尤其涉及一种用于溅镀载具的清洁装置。

背景技术

现有技术中，随着基板玻璃的尺寸越来越大，高世代溅镀载具的体积也逐步增长。例如，现有的11代溅镀载具的设计重量达到300KG。

随之溅镀载具重量的增加，在其传动载具持续运转的过程中，容易产生如下技术问题：传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘大幅增加，摩擦产生的金属粉尘极易污染到膜层，造成产品良率的降低。

现有技术中溅镀载具的清洁方式还主要依靠定期酒精擦拭清除的方式，其需要停机作业，影响效能；同时也增加了人力成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：装设在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体,刷体为一可自转的结构构造的毛刷；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件；支架上开设有凹槽，传动导轨穿过凹槽,刷体设置在凹槽的底部，与传动导轨触碰,凹槽的截面呈U形；正压去除组件至少包括一喷嘴，喷嘴朝向刷体对传动导轨进行刷持的位置喷射气流,使喷射气流能够配合真空去除收集组件对灰尘进行集中收集，防止刷体周围的灰尘扩散；正压去除组件固定在凹槽的开口侧。

其中，正压去除组件还具有与喷嘴相连的管体和与管体相连的正压接入口。

其中，真空去除收集组件装设在刷体的底部，真空去除收集组件通过产生负压形成定向气流流向。

实施本发明所提供的用于溅镀载具的清洁装置，具有如下有益效果：刷体能够去除附着在传动导轨上的金属灰尘；正压去除组件能够去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流；真空去除收集组件能够产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例溅镀载具的主视结构示意图。

图2是本发明实施例溅镀载具的俯视结构示意图。

图3是本发明实施例用于溅镀载具的清洁装置的截面结构示意图。

具体实施方式