[发明专利]一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统

说明书

本发明公开了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，真空装置包括腔体和抽真空装置，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门放置在腔体内，真空装置与气体通入装置和粒子计数器相连。本发明能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便阀门的生产方和购买方能够准确了解到阀门的粒子脱落量数据，解决了由于阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

技术领域

本发明涉及一种阀门的检测系统，尤其涉及一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统。

背景技术

在半导体和光伏组件的制造过程中，需要用到真空阀门。由于半导体以及光伏组件的制造的过程中对真空阀门的要求非常高，除了一些常规的要求（如尺寸、密封、抗冲击等）外，对真空阀门在工作过程中的粒子脱落量也有一定的要求，如果粒子脱落量较多，就会影响到整个半导体以及光伏组件的质量。因此，需要对真空阀门进行粒子脱落量进行检测，而目前却没有对真空阀门进行粒子脱落量检测的现有技术。由于不存在相关检测现有技术，对真空阀门制造方来讲，无法知道自己生产的真空阀门的粒子脱落量数据，无法向购买方保证自己生产的真空阀门的质量；而对真空阀门的购买方来说，在购买时，并不知道真空阀门在粒子脱落量方面的检测数据，不知道孰优孰劣，无从选择。如果购买方买到不符合要求的真空阀，应用到半导体和光伏组件生产中，可能影响到半导体和光伏组件的质量。因此，开发出一种检测真空阀门粒子脱落量的系统显得尤为重要，以便双方能够准确了解到真空阀门的粒子脱落量数据，解决了由于真空阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

发明内容

本发明的目的就是提供一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，通过该系统能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便阀门的生产方和购买方能够准确了解到阀门的粒子脱落量数据，解决了由于阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，其特征在于：包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，所述真空装置包括腔体和抽真空装置，腔体至少连接有三根管路，一根为气体通入管路，一根为出口管路，最后一根为抽真空管路，抽真空管路连接抽真空装置，气体通入管路连接气体通入装置，出口管路连接粒子计数器，气体通入装置通过支管路与粒子计数器相连，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门驱动装置驱动待测阀门开启和关闭，待测阀门放置在腔体内，所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门。

所述出口管路上还安装有高压扩散器。

所述待测阀门驱动装置驱动待测阀门在腔体内进行开启和关闭动作，驱动装置采用气缸、油缸或者其他机械结构，只要能驱动待测阀门开启和关闭即可，为现有结构，也不是本发明的发明构思，因此，在此不再赘述。

所述气体通入装置包括空压机、干燥器、过滤器、减压阀和气体流量计，空压机与干燥器相连，干燥器与过滤器相连，过滤器与减压阀相连，减压阀与气体流量计相连，气体流量计与腔体相连。

所述腔体包括底板、固定夹板法兰、活动夹板法兰、定位块和活动夹紧装置，固定夹板法兰和活动夹板法兰安装在底板上，固定夹板法兰和活动夹板法兰紧靠在待测阀门的正反两面，定位块和活动夹紧装置安装在底板上，定位块和活动夹紧装置紧靠在待测阀门的两侧面，固定夹板法兰和活动夹板法兰上均设置有内凹槽和通气孔，通气孔与内凹槽相连通，待测阀门的通槽与固定夹板法兰和活动夹板法兰上的内凹槽形成空腔。

所述固定夹板法兰与待测阀门的相接处，所述活动夹板法兰与待测阀门的相接处均采用密封圈密封。

所述底板铣出L形凸台，所述固定夹板法兰紧靠在L形凸台上，为待测阀门提供正反面的安装基准，所述定位块紧靠在L形凸台上，为待测阀门提供侧面安装基准。