[发明专利]角度依赖成像测量系统及方法

权利要求书

1.一种角度依赖成像测量系统，其特征在于：包括物镜、光学透镜A、光学透镜B、成像设备和可切换的光学透镜C，所述物镜、所述光学透镜A、所述光学透镜C、所述光学透镜B和所述成像设备沿同一光轴依次布置，所述成像设备位于所述光学透镜B后的后焦平面第一次成像面M1处或所述光学透镜B后的样品面第二次成像面S2处；

角度依赖成像测量系统满足以下条件：

0≤d₁≤2f_A

f_A<D＝d₅+d₃+d₄≤2f_B+f_A

其中，d₁为所述物镜后的物镜后焦平面M0与所述光学透镜A之间的距离，f_A为所述光学透镜A的焦距，D为所述光学透镜A与所述光学透镜B之间的距离，d₅为光学透镜A与所述光学透镜A后的样品面第一次成像面S1之间的距离，d₃为所述光学透镜A后的样品面第一次成像面S1与所述光学透镜C之间的距离，d₄为所述光学透镜C与所述光学透镜B之间的距离，f_B为所述光学透镜B的焦距。

2.如权利要求1所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于：d₁＝d₅＝f_A。

3.如权利要求1所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于，所述样品面第一次成像面S1与所述光学透镜C之间的距离、所述光学透镜C与所述光学透镜B之间的距离满足以下条件：

0≤d₃≤2f_C

f_C<d₄≤2f_B+f_C

其中，f_C为所述光学透镜C的焦距。

4.如权利要求3所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于：d₃＝f_C和/或d₄＝f_C+f_B。

5.如权利要求1所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于，满足以下条件：

d₂＝f_B

其中，d₂为所述光学透镜B与所述成像设备之间的距离。

6.根据权利要求5所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于：所述光学透镜B与所述成像设备之间还沿所述光轴设置有n(n>0)个光学透镜组，第i(0<i≤n)个所述光学透镜组包括光学透镜Cxi和光学透镜Cyi，所述光谱探测设备位于n个所述光学透镜组后的后焦平面成像面Mn+1处；

所述角度依赖成像测量系统满足以下条件：

0≤dxi≤2f_Cxi

f_Cxi<dxyi≤2f_Cyi+f_Cxi

dyi＝f_Cyi

其中，n为自然数，i为自然数，dxi为所述光学透镜Cxi前的后焦平面第i次成像面Mi与所述光学透镜Cxi之间的距离，f_Cxi表示所述光学透镜Cxi的焦距，dxyi为第i个所述光学透镜组内的所述光学透镜Cxi与所述光学透镜Cyi之间的距离，f_Cyi表示所述光学透镜Cyi的焦距，dyi为所述光学透镜Cyi与所述光学透镜Cyi后的后焦平面第i+1次成像面Mi+1之间的距离。

7.如权利要求1至6中任一项所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于：于所述样品面第一次成像面S1处放置有遮光片。

8.如权利要求1至6中任一项所述的角度依赖成像测量系统，其特征在于：样品与所述物镜之间的距离为所述物镜的焦距。