[发明专利]一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法

说明书

本发明属于金刚石线锯切割技术领域，具体涉及一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法,包括如下步骤：在金刚石锯丝一侧设置有永磁铁，产生磁场，金刚石锯丝在磁场内会被磁化具有磁性吸附力；纳米磁性切割液中均匀混合有纳米级的三氧化二铁颗粒，喷嘴将磁性切割液喷洒到金刚石锯丝附近时，携带有切削液的三氧化二铁颗粒被吸附到金刚石锯丝上；金刚石锯丝在切割工件过程中，将纳米粒子及切削液带入到切割区域中。本发明在切割液中添加磁性纳米粒子，在磁场中的金刚石锯丝被磁化后，喷出的纳米磁性切削液会吸附在金刚石锯丝表面并随之进入切割区域，从而有效提高切割区域的润滑作用，降低切割区域由于切割力和摩擦产生的切割温度。

技术领域

本发明属于金刚石线锯切割技术领域，具体涉及一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法。

背景技术

金刚石线锯切割是目前硅片产业的主流切割技术。传统金刚石线锯切割大尺寸硅晶体过程中，由于切缝狭窄，切削液难以进入到切割区域，削热不能及时消除，被锯丝吸收后会引起金刚石磨粒的脱落和锯丝的断线，脱落的金刚石磨粒又在切割过程中被挤压，嵌入硅片表面，造成较深的凹坑，硅片的表面和亚表面质量的损害更为严重，从而增加金刚石线锯切割成本以及后续研磨抛光加工成本。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种有效降低摩擦、冷却速度快、有利于提高切片质量和、延长锯丝使用寿命的切割液磁性吸附金刚石线锯切割的方法及其装置。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现，一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法，包括如下步骤：

(1)在金刚石锯丝一侧设置有永磁铁，产生磁场，金刚石锯丝在磁场内会被磁化具有磁性吸附力；

(2)纳米磁性切割液中均匀混合有纳米级的三氧化二铁颗粒，喷嘴将磁性切割液喷洒到金刚石锯丝附近时，携带有切削液的三氧化二铁颗粒被吸附到金刚石锯丝上；

(3)金刚石锯丝在切割工件过程中，将纳米粒子及切削液带入到切割区域中。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法中，所述金刚石锯丝采用电镀金刚石锯丝。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法中，所述纳米磁性切割液中添加有分散剂和表面活性剂。

本发明在切割液中添加磁性纳米粒子，在磁场中的金刚石锯丝被磁化后，喷出的纳米磁性切削液会吸附在金刚石锯丝表面并随之进入切割区域，从而有效提高切割区域的润滑作用，降低切割区域由于切割力和摩擦产生的切割温度，有利于提高切片质量及锯丝使用寿命。

附图说明

图1为本发明一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法示意图。

图中，金刚石锯丝1，永磁铁2，三氧化二铁颗粒3，喷嘴4，工件5。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1所示，一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割方法，包括如下步骤：

(1)在金刚石锯丝1一侧设置有永磁铁2，产生磁场，金刚石锯丝1在磁场内会被磁化具有磁性吸附力；

(2)纳米磁性切割液中均匀混合有纳米级的三氧化二铁颗粒3，喷嘴4将磁性切割液喷洒到金刚石锯丝1附近时，携带有切削液的三氧化二铁颗粒3被吸附到金刚石锯丝1上；

(3)金刚石锯丝1在切割工件5过程中，将纳米粒子及切削液带入到切割区域中。