[发明专利]一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置

说明书

本发明属于金刚石线锯切割技术领域，具体涉及一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置，包括金刚石锯丝、滚轮、导向轮和喷嘴，金刚石锯丝沿滚筒和导向轮的外侧设置成闭合环状且单方向转动，导向轮设置有两个，两个导向轮之间的金刚石锯丝一侧设置有待切削的工件且另一侧设置有永磁铁，工件在被金刚石锯丝进行切削的一侧设置有喷嘴，喷嘴喷出纳米磁性切割液。本发明在高速气流的作用下从喷嘴处喷出雾状纳米磁性切割液，最后切割液滴喷洒到锯丝表面，减少了切割液的使用量，在切割区域，有更多的切割液同时与金刚石锯丝和工件接触形成润滑层，降低切割区域由于切割力和摩擦产生的切割温度，有利于提高切片质量及锯丝使用寿命。

技术领域

本发明属于金刚石线锯切割技术领域，具体涉及一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置。

背景技术

金刚石线锯切割是目前硅片产业的主流切割技术。金刚石线锯切割过程中，通过固定在锯丝上的金刚石磨粒与工件直接接触达到去除材料的目的，属于二体切割体系。相比于游离磨料线锯切割技术，金刚石线锯切割具有切割效率高，精度高，切割锯屑易于回收，环境负荷低等优点。但是金刚石线锯切割时，由于切缝狭窄，切割液不能有效地进入切削区域，切削热不能及时消除，被锯丝吸收后会引起金刚石磨粒的脱落和锯丝的断线，脱落的金刚石磨粒又在切割过程中被挤压，嵌入硅片表面，造成较深的凹坑，硅片的表面和亚表面质量的损害更为严重。

针对金刚石线锯切割中切割液不能有效进入切削区域的缺点，主要通过增加切割液的供应量来改善。这是目前企业中通常采用的方法，但是金刚石锯丝表面带入切割区域的切割液有限，很难起到很好的润滑冷却效果。同时造成了切割液的严重浪费，后期废料处理成本增加。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种有效降低摩擦、冷却速度快、有利于提高切片质量、延长锯丝使用寿命的切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置，包括金刚石锯丝、滚轮、导向轮和喷嘴，所述金刚石锯丝沿滚筒和导向轮的外侧设置成闭合环状且单方向转动，所述导向轮设置有两个，两个导向轮之间的金刚石锯丝一侧设置有待切削的工件且另一侧设置有永磁铁，工件在被金刚石锯丝进行切削的一侧设置有喷嘴，所述喷嘴喷出纳米磁性切割液。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置中，所述喷嘴连接有储液箱和空压机，所述储液箱内装有切削液和纳米三氧化二铁颗粒混合的纳米磁性切割液，所述储液箱和喷嘴之间设置有蠕动泵。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置中，所述空压机和喷嘴之间依次设置有调节阀、流量计、压力表、过滤器和频率发生器。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置中，所述频率发生器另一端设置连接于蠕动泵。

在上述的一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置中，所述滚轮与每个导向轮之间各设置有一个紧张轮。

本发明在高速气流的作用下从喷嘴处喷出雾状纳米磁性切割液，最后切割液滴喷洒到锯丝表面，减少了切割液的使用量。在切割区域，有更多的切割液同时与金刚石锯丝和工件接触形成润滑层，并且随着锯丝的运动对加工区域实现润滑冷却作用，从而提高线锯切割性能，降低切割区域由于切割力和摩擦产生的切割温度，有利于提高切片质量及锯丝使用寿命。

附图说明

图1为本发明一种切割液磁性吸附金刚石线锯切割装置结构示意图。

图中，金刚石锯丝1，滚轮2，导向轮3，喷嘴4，永磁铁5，储液箱6，空压机7，蠕动泵8，调节阀9，流量计10，压力表11，过滤器12，频率发生器13，紧张轮14。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。