[发明专利]一种通过机械加电解抛光制备微型EBSD试样的方法

权利要求书

1.一种通过机械加电解抛光制备微型EBSD试样的方法，其特征在于，具体步骤如下：

①镶样：

将金属材料切割成微型试样(2)，在镶样机上把微型试样(2)镶到镶样的中心，最终形成镶样样品(1)；

②开V字型凹槽：

在垂直于微型试样(2)的方向上在镶样样品1上对称开两个V字型凹槽(3)，微型试样(2)位于2个V字型凹槽(3)的尖端连线上；

③对镶样样品(1)进行机械抛光；

④在微型试样(2)表面贴保护层，以防止刮伤，然后将镶样样品(1)置于取样平台内；

⑤将镶样样品(1)紧固在取样平台内，对镶样样品(1)中心施加向下的力，使样品沿V字型凹槽(3)尖端连线方向断开，取出微型试样(2)，去掉其上的保护层；

⑥将微型试样(2)置于超声仪上，用酒精超声振动清洗；

⑦将微型试样(2)置于酸性电解抛光液中进行电解抛光：

把电源电流设置为0.8A，电压设置为最大，为60V，然后用制冷剂把电解抛光液冷却到零下70℃，连接电源，此时，电源以电压为主，电流为0.1A，随着温度升高，电流逐渐增大，电压不变，直至电流达到0.8A时，电源变成以电流为主，电流为0.8A保持不变，电压开始降低，直至电压降低为50V时，关闭电源，取出微型试样(2)；

⑧用水冲洗微型试样(2)后再用酒精冲洗并吹干，最终获得金属材料的微型EBSD试样。

2.按照权利要求1所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：步骤①中微型试样(2)为长方形、正方形、圆形、菱形或五边形，其尺寸范围是：长度＝0.5-10mm，宽度＝0.3-10mm，厚度＝0.5-3mm。

3.按照权利要求1所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：步骤①中，镶样样品(1)的厚度为微型试样(2)厚度的2-3倍。

4.按照权利要求1所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：步骤③中，样品在研磨机上依次通过150#、320#、800#、2000#砂纸进行研磨；对磨完的样品在抛光机上用抛光液进行机械抛光。

5.按照权利要求1所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：步骤④中，所述取样平台由两个对称的夹具(4)和两个圆弧柱(5)组成；夹具(4)高度方向上设有凹槽孔(6)，凹槽孔(6)的截面直径大于镶样样品(1)的直径；圆弧柱(5)可卡在凹槽孔(6)内，其高度小于夹具(4)高度，圆弧柱(5)用于支撑镶样样品(1)；圆弧柱(5)通过螺栓(7)紧固在夹具(4)上，两个对称的夹具(4)通过螺栓(7)紧固在一起。

6.按照权利要求5所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：所述夹具(4)凹槽孔(6)靠上的位置设有螺栓(7)，螺栓(7)平行于水平方向设置，用于紧固放置于圆弧柱(5)上的镶样样品(1)。

7.按照权利要求5或6所述制备微型EBSD试样的方法，其特征在于：将圆弧柱(5)卡在凹槽孔(6)内，然后将两个夹具(4)带有凹槽孔(6)的一面相对设置，夹具(4)之间留有空隙(8)，将镶样样品(1)置于两个相对设置的圆弧柱(5)上，使镶样样品(1)V字型凹槽(3)的尖端连线位于夹具(4)间的空隙(8)处，拧紧两个夹具(4)之间的螺栓(7)，使其将镶样样品(1)夹紧。