[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201811487553.9 | 申请日: | 2018-12-06 |
公开(公告)号: | CN109599424B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 宋威;闫梁臣;赵策;金憘槻;丁远奎;程磊磊;胡迎宾;李伟;张扬 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/50;H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;贾玉 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种显示基板,其特征在于,包括:
衬底基板,
设置在所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列层,所述薄膜晶体管阵列层在背向所述衬底基板的一侧限定出多个凹槽结构;
设置在所述薄膜晶体管阵列层背向所述衬底基板的一侧的绝缘膜层,所述绝缘膜层在所述多个凹槽结构中限定出多个像素区域,所述像素区域与所述凹槽结构一一对应;
一一对应设置在所述多个像素区域内的多个发光单元;
所述薄膜晶体管阵列层包括多个薄膜晶体管,每个所述凹槽结构对应至少一个薄膜晶体管,所述至少一个薄膜晶体管限定出对应的所述凹槽结构,所述至少一个薄膜晶体管中的输出电极作为所述凹槽结构的槽底;
所述绝缘膜层包括与所述多个凹槽结构一一对应的多个开口,所述开口暴露出对应的所述至少一个薄膜晶体管的输出电极,所述至少一个薄膜晶体管中的输出电极与对应的所述发光单元接触,所述至少一个薄膜晶体管用于将驱动信号经输出电极输出至对应的发光单元,以驱动所述发光单元发光;
所述薄膜晶体管包括:
同层设置在所述衬底基板上的输入电极和第一绝缘层,在垂直于所述衬底基板的方向上,所述第一绝缘层的高度大于所述输入电极的高度;
设置在所述第一绝缘层背向所述衬底基板的表面的输出电极;
设置在所述输入电极背向所述衬底基板的一侧的有源层,所述有源层分别与所述输入电极和部分所述输出电极接触;
沿靠近所述衬底基板至远离所述衬底基板的方向上,依次层叠设置在所述有源层背向所述衬底基板的一侧的第二绝缘层和栅极,所述栅极在所述衬底基板上的正投影位于所述第二绝缘层在所述衬底基板上的正投影的内部;所述栅极在所述衬底基板上的正投影与所述输出电极在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述发光单元包括相对设置的两个电极和设置在所述两个电极之间的发光层;
所述至少一个薄膜晶体管中的输出电极与对应的所述发光单元中的发光层接触,所述至少一个薄膜晶体管中的输出电极复用为对应的所述发光单元中的其中一个电极。
3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,当每个所述凹槽结构对应一个薄膜晶体管时,所述输入电极在所述衬底基板上的正投影包围所述第一绝缘层在所述衬底基板上的正投影;所述有源层在所述衬底基板上的正投影包围所述输出电极在所述衬底基板上的正投影;
所述栅极在所述衬底基板上的正投影,和所述第二绝缘层在所述衬底基板上的正投影均包围所述输出电极在所述衬底基板上的正投影。
4.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,当每个所述凹槽结构对应两个薄膜晶体管时,所述两个薄膜晶体管设置在该凹槽结构相对的两侧,
所述两个薄膜晶体管的栅极连接,所述两个薄膜晶体管的输入电极连接,所述两个薄膜晶体管共用同一个所述输出电极和同一个所述第一绝缘层。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的显示基板,其特征在于,所述绝缘膜层位于所述凹槽结构外的部分在背向所述衬底基板的表面具有疏水性。
6.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求1~5中任一项所述的显示基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的