[发明专利]一种提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法

权利要求书

1.一种提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法，其特征在于：包括利用DMD直接产生图像，将计算机的图像数据曝光到晶圆或PCB板上；镀膜镜片通过控制镜片沿X轴或Y轴高速旋转一定角度，使DMD反射光通过该倾斜的镜片后折射光平移半个像素，通过四个位置的平移叠加，单个像素演变为4个像数。

2.根据权利要求1所述的提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法，其特征在于：还包括基于DMD的无掩膜光刻技术采用紫外光作为初始光源。

3.根据权利要求1所述的提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法，其特征在于：还包括镀膜镜片绕X轴或Y轴转动角度为θ，玻璃的厚度为t，镜片折射率为n，由此可计算出DMD反射光通过该倾斜的镜片后折射光平移距离Δy值为Δ

4.根据权利要求1所述的提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法，其特征在于：还包括镀膜镜片材料固定，折射率始终保持不变，折射光的移动距离Δy就由偏转角度θ和镜片的厚度t决定，通过选择合适旋转角度θ和镜片厚度t，就能确保折射光平移距离Δy是DMD最小微镜尺寸的一半。

5.根据权利要求1所述的提高DMD无掩膜光刻图像精度的方法，其特征在于：还包括像素点通过三个方向的平移半个像素后，单个像素点变成A、B、C和D四个像素点，空间上分辨率提高了4倍，图像精度提高了4倍。