[发明专利]一种八甲基环四硅氧烷的输送及汽化系统和方法在审

专利信息
申请号: 201811482524.3 申请日: 2018-12-05
公开(公告)号: CN109373196A 公开(公告)日: 2019-02-22
发明(设计)人: 龚小雷 申请(专利权)人: 上海正帆科技股份有限公司
主分类号: F17D1/14 分类号: F17D1/14;F17D3/01;F17D3/18;F17C7/04
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 201108 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 八甲基环四硅氧烷 气化装置 物料输送装置 伴热系统 储料装置 汽化系统 汽化 工业化应用 光纤预制棒 依次连接 应用效率 预热装置 载气装置 燃烧器 应用 安全
【权利要求书】:

1.一种八甲基环四硅氧烷的输送及汽化系统,其特征在于,所述系统包括依次连接的储料装置、物料输送装置、预热装置以及气化装置,所述储料装置与第一伴热系统连接,所述物料输送装置与第二伴热系统连接;所述系统还包括载气装置,所述载气装置与气化装置连接,所述气化装置与燃烧器连接。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述储料装置包括卸料系统和储罐;

优选地,所述储罐为ISO储罐。

3.如权利要求1或2所述的系统,其特征在于,所述物料输送装置包括泵组和液体输送管路;

优选地,所述泵组和液体输送管路之间设有液体质量流量计;

优选地,所述液体输送管路包括液体输送管道和控制阀组。

4.如权利要求1-3任一项所述的系统,其特征在于,所述预热装置为预热罐;

优选地,所述物料输送装置和预热装置之间设有液体质量流量计。

5.如权利要求1-4任一项所述的系统,其特征在于,所述第一伴热系统为水浴加热系统或电加热系统;

优选地,所述第二伴热系统为电加热系统。

6.如权利要求1-5任一项所述的系统,其特征在于,所述载气装置包括载气罐和气体输送管路;

优选地,所述气体输送管路和气化装置之间设有气体质量流量计;

优选地,所述气体输送管路包括气体输送管道和控制阀组。

7.一种八甲基环四硅氧烷的输送及汽化方法,其特征在于,利用权利要求1-6任一项所述的系统进行,所述方法为:将储料装置中的八甲基环四硅氧烷原料通过物料输送装置引入预热装置,物料预热后进入汽化装置,同时从载气装置向汽化装置中导入载气,八甲基环四硅氧烷在汽化装置中汽化为气体,被进入的载气推送至燃烧器中进行燃烧和沉积。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,物料输送过程中,利用第一伴热系统将储料装置加热至18-50℃;

优选地,物料输送过程中,利用第二伴热系统将物料输送装置加热至18-50℃;

优选地,物料输送过程中,预热装置对物料预热的温度为50-175℃。

9.如权利要求7或8所述的方法,其特征在于,物料汽化过程中,汽化装置的温度为175-350℃;

优选地,所述载气为氩气和/或氮气。

10.如权利要求7-9任一项所述的方法,其特征在于,所述方法为:将八甲基环四硅氧烷原料经过卸料系统卸料后进入储罐,同时利用第一伴热系统将储罐加热至18-50℃并进行保温;然后利用泵组将八甲基环四硅氧烷引入液体输送管路,利用第二加热系统控制泵组和液体输送管路的温度为18-50℃;控制预热罐的温度为50-175℃,八甲基环四硅氧烷通过液体输送管路进入预热罐,预热后液体进入汽化装置;同时将载气罐中的氩气和/或氮气输送至气体输送管路,载气与八甲基环四硅氧烷同时进入汽化装置;控制汽化装置内的温度为175-350℃,在该温度下八甲基环四硅氧烷迅速汽化为气体,被同时进入的载气推送至燃烧器,与燃烧器内的燃料燃烧,形成SiO2的沉积。

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