[发明专利]长条基板的处理装置和处理方法

说明书

本发明涉及在实施了热负荷的长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。在将从放卷室(110)供给的长条基板(114)卷绕在成膜室(112)的筒辊(131)来实施溅射等的装置中，在筒辊的薄膜送入侧设置两组张力控制辊组(第一张力测量辊130和第一电机驱动辊129、以及第二张力测量辊127和第二电机驱动辊125)，在送出侧也设有两组张力控制辊组(第一张力测量辊132和第一电机驱动辊133、以及第二张力测量辊135和第二电机驱动辊137)，筒辊的送入进料张力和送出进料张力由上述两组张力控制辊组进行双级控制，因此能够使薄膜的张力控制准确，从而避免薄膜褶皱和划痕的产生。

技术领域

本发明涉及在真空腔室内对以卷对卷方式输送的耐热性树脂薄膜等长条基板在卷绕于带气体释放机构的筒辊的外周面的状态下进行离子束处理、溅射成膜等的施加热负荷的处理的长条基板的处理装置和处理方法，特别涉及在长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。

背景技术

在液晶面板、笔记本电脑、数码相机、移动电话等中使用柔性布线基板。柔性布线基板由在耐热性树脂薄膜的单面或两面成膜有金属膜的带金属膜的耐热性树脂薄膜制作而成。近年来，在柔性布线基板上形成的布线图案越来越微细化、高密度化，带金属膜的耐热性树脂薄膜本身为没有褶皱等的平滑的膜变得越发重要。

作为这种带金属膜的耐热性树脂薄膜的制造方法，一直以来已知有如下方法：通过粘接剂将金属箔粘贴于耐热性树脂薄膜而制造的方法(称作三层基板的制造方法)；在金属箔上涂布耐热性树脂溶液后使其干燥而制造的方法(称作流延成型法，casting)；利用干式镀敷法(真空成膜法)或干式镀敷法(真空成膜法)与湿式镀敷法的组合在耐热性树脂薄膜上成膜金属膜而制造的方法(称为金属化方法)等。另外，在金属化方法中的上述干式镀覆法(真空成膜法)中，存在有真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、离子束溅射法等。

作为上述金属化方法，在专利文献1中，公开了在聚酰亚胺绝缘层上溅射铬之后溅射铜，从而在聚酰亚胺绝缘层上形成导体层的方法。另外，在专利文献2中公开了一种柔性电路基板用材料，该柔性电路基板用材料是按照以铜镍合金作为靶通过溅射在聚酰亚胺薄膜上形成的第一金属薄膜、和以铜为靶通过溅射形成的第二金属薄膜的顺序层叠而形成的。需要说明的是，为了在聚酰亚胺薄膜这样的耐热性树脂薄膜(基板)上进行真空成膜，通常使用溅射镀膜机。

通常，在上述真空成膜法中，溅射法的密合力优异，但与真空蒸镀法相比，施加于耐热性树脂薄膜的热负荷更大。而且，已知若在成膜时施加于耐热性树脂薄膜大的热负荷，则膜容易产生褶皱。为了防止这样的褶皱的产生，采用如下方法：在作为带金属膜的耐热性树脂薄膜的制造装置的溅镀镀膜机中，搭载具备冷却功能的筒辊，通过对筒辊进行旋转驱动，并在由筒辊的外周面划定的输送路径上卷绕以卷对卷方式输送的耐热性树脂薄膜，由此从其背面侧对溅射处理中的耐热性树脂薄膜进行冷却。

例如在专利文献3中公开了作为溅镀镀膜机的一例的放卷收卷式(卷对卷方式)真空溅射装置。在该放卷收卷式真空溅射装置中具备充当上述筒辊的冷却辊，进而利用至少设置于冷却辊的膜送入侧或送出侧的副辊进行将薄膜紧密贴合于冷却辊的控制。

但是，如非专利文献1所记载的那样，由于从微观上看筒辊的外周面不是平坦的，因此在筒辊与在筒辊的外周面紧贴并输送的膜之间存在隔着真空空间而分离的空隙部(间隙)。因此，实际上溅射或蒸镀时产生的膜的热量不能从膜高效地传导至筒辊，这成为产生薄膜褶皱的原因。

因此，提出了如下技术：从筒辊侧向上述筒辊外周面和膜之间的空隙部导入气体，使空隙部的导热率比真空高。

并且，作为将气体从筒辊侧导入空隙部的具体方法，例如在专利文献4中公开了在筒辊外周面设置作为气体的释放口的多个微细孔的技术，在专利文献5中公开了在筒辊外周面设置作为气体的释放口的槽的技术。另外，还已知用多孔质体构成筒辊自身，将该多孔质体自身的微细孔作为气体释放口的方法。