[发明专利]一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜补正装置，其特征在于，包括第一端和与所述第一端相对的第二端，沿着从所述第一端到所述第二端的方向依次排布设置有多个遮挡区，相邻两个所述遮挡区具有不同的遮挡面积。

2.根据权利要求1所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述第一端为所述镀膜补正装置的安装端，所述第二端为所述镀膜补正装置的自由端。

3.根据权利要求2所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述多个遮挡区包括交替设置的第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区的遮挡面积大于相邻的所述第二遮挡区的遮挡面积。

4.根据权利要求3所述的镀膜补正装置，其特征在于，每个所述第一遮挡区具有沿所述安装端到所述自由端的方向逐渐变窄的形状，每个所述第二遮挡区具有沿所述安装端到所述自由端的方向逐渐变窄的形状。

5.根据权利要求3所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述第一遮挡区中靠近所述自由端的第一遮挡区比相对远离所述自由端的第一遮挡区的遮挡面积小，所述第二遮挡区中靠近所述自由端的第二遮挡区比相对远离所述自由端的第二遮挡区的遮挡面积小。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的镀膜补正装置，其特征在于，在所述第一遮挡区和所述第二遮挡区之间还设置有第三遮挡区，所述第三遮挡区的遮挡面积介于相邻的第一遮挡区和第二遮挡区的遮挡面积之间。

7.根据权利要求1所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述镀膜补正装置为板状体，在所述板状体上设置有多个用于形成所述多个遮挡区的缺失部。

8.根据权利要求7所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述缺失部为从所述板状体的沿所述第一端向所述第二端方向延伸的边缘向内凹进的缺口。

9.根据权利要求7所述的镀膜补正装置，其特征在于，所述缺失部为沿所述板状体的厚度方向穿透所述板状体设置的通孔。

10.一种用于对曲面基板镀膜的镀膜机，包括镀膜腔和位于所述镀膜腔内的靶材和夹具，其特征在于，所述镀膜机还包括权利要求1-9中任一项所述的镀膜补正装置，所述镀膜补正装置固定在所述镀膜腔的内壁上且位于所述靶材和所述夹具之间。

11.根据权利要求10所述的用于对曲面基板镀膜的镀膜机，其特征在于，待镀膜曲面基板为具有相对于所述靶材的至少一个凸起部和至少一个凹陷部的波浪形基板，所述多个遮挡区包括交替设置的第一遮挡区和第二遮挡区，在所述夹具夹持有所述波浪形基板时，所述第一遮挡区和所述第二遮挡区的位置分别对应于所述凸起部和所述凹陷部。

12.根据权利要求10所述的用于对曲面基板镀膜的镀膜机，其特征在于，所述镀膜补正装置安装成使得在所述夹具夹持有待镀膜曲面基板时，所述镀膜补正装置与所述待镀膜曲面基板平行。