[发明专利]一种显示面板的制备方法、显示面板及蒸镀装置

权利要求书

1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

将衬底基板固定在蒸镀载台上；

在所述衬底基板上贴附用于覆盖预设通孔区域的遮挡片；

将开放式掩膜板与所述衬底基板对位并固定；

利用所述开放式掩膜板对所述衬底基板进行蒸镀。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述遮挡片的面积大于所述预设通孔区域的面积。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述在所述衬底基板上贴附用于覆盖预设通孔区域的遮挡片，具体包括：

将所述遮挡片放于托盘的固定位置上；

将所述托盘与所述衬底基板对位并贴附，以使所述遮挡片与所述预设通孔区域相对；

将所述遮挡片固定于所述预设通孔区域、并与所述托盘分离；

移走所述托盘，以使所述托盘脱离蒸镀区域。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述托盘具有与所述衬底基板的预设通孔区域对应的凹槽；所述将所述遮挡片放于托盘的固定位置上，具体包括：

将所述遮挡片置于所述托盘的凹槽内。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述蒸镀载台设置有电磁铁，且所述遮挡片的材料为磁性材料，所述托盘的材料为无磁性高分子聚合物；所述将所述遮挡片固定于所述预设通孔区域，具体包括：

启动所述电磁铁，将所述遮挡片吸附于所述衬底基板的预设通孔区域。

6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述将所述托盘与所述衬底基板对位，具体包括：

采用所述托盘上设置的第二对位标识与所述衬底基板上的第三对位标识进行对位。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述将开放式掩膜板与所述衬底基板对位，具体包括：

采用所述开放式掩膜板上设置的第一对位标识与所述衬底基板上的第三对位标识进行对位。

8.一种显示面板，其特征在于，包括阵列基板以及与所述阵列基板相对设置的对向基板，所述阵列基板包括衬底基板和位于所述衬底基板上的蒸镀材料层，所述蒸镀材料层采用如权利要求1-7任一项所述制备方法制备，且所述阵列基板和对向基板具有贯穿的通孔。

9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：用于承载衬底基板的蒸镀载台和用于蒸镀的掩膜组件，其中，所述掩膜组件包括：

开放式掩膜板，所述开放式掩膜板上具有至少一个用于蒸镀的开口；

与所述开口一一对应的遮挡片，所述遮挡片的面积小于所述开口的面积。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜组件还包括：用于承载所述遮挡片的托盘，所述托盘上设有用于盛装所述遮挡片的凹槽。

11.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀载台设有电磁铁，且所述遮挡片的材料为磁性材料。

12.根据权利要求11所述的蒸镀装置，其特征在于，所述遮挡片的材料为不锈钢材料。