[发明专利]调制带宽增强的可见光通信光源及其制备方法有效
申请号: | 201811467732.6 | 申请日: | 2018-12-03 |
公开(公告)号: | CN109599410B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 王军喜;冯梁森;张宁;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/24;B82Y20/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调制 带宽 增强 可见 光通信 光源 及其 制备 方法 | ||
本公开提供一种调制带宽增强的可见光通信光源及其制备方法,其包括:外延片(10);n型结构层(20),位于所述外延片(10)上;三基色有源区(30),位于所述n型结构层(20)上,为阵列排布的纳米柱,所述纳米柱之间填充绝缘物质;透明导电层(40),位于所述三基色有源区(30)上;p电极(50),位于所述透明导电层(40)上;以及n电极(60),位于未被所述三基色有源区(30)覆盖的n型结构层(20)表面,阵列排布的纳米柱结构有利于载流子高效快速的复合,使光源具有更高的光效,减小了减少载流子复合寿命,提高了调制带宽。
技术领域
本公开涉及照明光源领域,尤其涉及一种调制带宽增强的可见光通信光源及其制备方法。
背景技术
可见光通信是一种在白光LED技术上发展起来的新兴的短距离自由空间光无线通信技术,白光LED作为可见光通信的光源,具有功率高、节约能源等优点,衡量可见光通信系统性能的一个重要指标是调制带宽,它是信道容量和传输速率的决定性因素,带宽越大说明工作性能越好,而影响调制带宽的两个因素一个是RC时间,一个是载流子自发辐射寿命。
一般获得白光LED的方式是通过氮化镓基蓝光LED芯片结合钇铝石榴石荧光粉,激发获得黄光,从而混合得到白光,这种方法获得的白光LED光效很低,而且存在很大的能量损耗;另一种常见的方法是基于三基色混合的单芯片白光LED,这种LED的优点是光效高且显色性好,但现有的单芯片白光LED常采用三基色量子阱垂直堆叠的结构来获得白光,这种结构虽然可以直接通过材料外延获得,但是短波长的光出射时会被长波长量子阱再次吸收,不能实现对三种颜色的比例有效地灵活地控制。
公开内容
(一)要解决的技术问题
基于上述问题,本公开提供了一种调制带宽增强的可见光通信光源及其制备方法,以缓解现有技术中的白光LED光效低,而且存在很大的能量损耗,三基色的三种颜色比例不能灵活有效地控制等技术问题。
(二)技术方案
在本公开的一个方面,提供一种调制带宽增强的可见光通信光源,包括:外延片10;n型结构层20,位于所述外延片10上;三基色有源区30,位于所述n型结构层20上,为阵列排布的纳米柱,所述纳米柱之间填充绝缘物质;透明导电层40,位于所述三基色有源区30上;p电极50,位于所述透明导电层40上;以及n电极60,位于未被所述三基色有源区30覆盖的n型结构层20表面。
在本公开实施例中,所述外延片10为基于蓝宝石、硅、氮化镓、碳化硅或玻璃衬底的氮化镓、氮化铝或铝镓氮外延片。
在本公开实施例中,所述三基色有源区30包括:红色有源区、绿色有源区以及蓝色有源区,所述三基色有源区30的红色有源区、绿色有源区以及蓝色有源区的纳米柱阵列排布形状包括:矩形、圆形或者扇形。
在本公开实施例中,所述纳米柱直径为100nm-500nm,纳米柱之间间距为50nm-1000nm。
在本公开实施例中,所述三基色有源区30面积占n型结构层20上表面面积的3/4或以上,但未全覆盖n型结构层20上表面。
在本公开实施例中,所述三基色有源区30的纳米柱之间填充的绝缘物质包括:SOG或PMMA。
在本公开实施例中,所述透明导电层40的制备材料包括:ITO、石墨烯或者氧化锌中的一种。
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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