[发明专利]一种沉积装置及制备热解炭的方法

权利要求书

1.一种沉积装置，其特征在于，包括转动轴(5)、进气通道(7)、筒体(1)和位于所述筒体(1)内的沉积基板(4)，所述筒体(1)上设有盖板(3)，所述盖板(3)上开设有通孔(9)；

所述沉积基板(4)与所述转动轴(5)固定连接，所述沉积基板(4)与所述盖板(3)相对设置，所述筒体(1)与所述进气通道(7)连通；

还包括导流杆(6)，所述导流杆(6)与所述沉积基板(4)固定连接，所述导流杆(6)从所述盖板( 3) 的开孔处伸出所述筒体(1)，所述导流杆(6)与所述转动轴(5)分别位于所述沉积基板(4)的两侧。

2.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述导流杆(6)与所述转动轴(5)同轴设置，所述转动轴(5)与所述沉积基板(4)所在平面垂直。

3.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还包括炉体(2)，所述炉体(2)位于所述筒体(1)的外部。

4.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还包括电机，所述转动轴(5)与所述电机相连，所述电机用于驱动所述转动轴(5)转动。

5.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述通孔(9)的直径范围为25-125mm，所述沉积基板(4)的直径范围为50-200mm。

6.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述进气通道(7)用于通入载气和碳源气体。

7.一种利用权利要求1-6中任意一项所述的沉积装置制备热解炭的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，向所述筒体( 1) 内通入载气；

S2，将所述筒体( 1) 内的温度升至1300～1500℃，调整所述转动轴(5)转速为10～30r/min，向所述筒体(1)内通入碳源气体和载气的混合气体，保持所述筒体(1)内压力为70MPa～100MPa，沉积20～40h；

S3，停止通入碳源气体，继续通入载气，降温后得到所述热解炭。

8.根据权利要求7所述的制备热解炭的方法，其特征在于，所述载气和所述碳源气体组成的混合气体的流量范围为15～30L/min，其中所述混合气体中所述碳源气体的质量浓度为40-70％。

9.根据权利要求8所述的制备热解炭的方法，其特征在于，所述碳源气体为丙烯、丙烷、乙炔中的一种或几种。