[发明专利]清洁装置及清洁方法在审
| 申请号： | 201811466157.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111250480A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 左权 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 | ||
1.一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括：
静电除尘器，所述静电除尘器包括集尘极及电晕极；
驱动部件，所述驱动部件至少包括两个伸缩单元及一个旋转单元；所述伸缩单元与所述静电除尘器相连接，通过所述伸缩单元控制所述静电除尘器的位移；所述旋转单元与所述伸缩单元相连接，位于所述伸缩单元之间，通过所述旋转单元控制所述伸缩单元的方向。
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述静电除尘器包括单层静电除尘器及多层静电除尘器中的一种或组合。
3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述集尘极包括金属网板，所述静电除尘器还包括沉积板，所述沉积板设置于所述金属网板下方。
4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述电晕极包括圆形线电晕极、星形线电晕极、锯齿线电晕极及芒刺线电晕极中的一种或组合。
5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述清洁装置还包括高压供电设备，所述高压供电设备用于给所述静电除尘器供电，所述高压供电设备的输出电压范围包括50kV～120kV。
6.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述伸缩单元的伸缩范围包括0mm～1000mm。
7.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述伸缩单元包括伸缩杆，所述伸缩杆的直径范围包括20mm～100mm。
8.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于：所述清洁装置还包括静电除尘箱体，所述静电除尘箱体包括长度范围为600mm～1000mm，宽度范围为200mm～350mm，高度范围为350mm～600mm的矩形箱体。
9.根据权利要求1～8中任一所述的清洁装置，其特征在于：所述清洁装置包括应用于半导体设备中的清洁装置，其中，所述半导体设备包括光刻机或涂胶机。
10.一种清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供权利要求1～9中任一所述的清洁装置，并将所述清洁装置中的所述静电除尘器处于闲置位置；
通过所述清洁装置中的所述驱动部件调试所述静电除尘器的位置，使所述静电除尘器处于工作位置；
通过所述静电除尘器，进行清洁；
通过所述驱动部件将所述静电除尘器恢复至所述闲置位置。
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