[发明专利]一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法

权利要求书

1.一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤一：测试晶砖一侧面少子寿命情况；

步骤二：根据所述侧面少子寿命情况，将晶砖截断得到尾料、可切片晶砖、头料、杂质层；

步骤三：测试头料下截断面的少子寿命情况；

步骤四：根据头料下截断面少子寿命情况，把可切片晶砖划分为不同等级：

1）截断面少子寿命较好，则可切片晶砖不需要返截，直接流转到下一个工序；

2）截断面少子寿命一般，则可切片晶砖返截10-20mm后再流转到下一工序；

3）截断面少子寿命较差，则可切片晶砖返截20-60mm后再流转到下一工序。

2.如权利要求1所述的保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法，其特征在于通过一个升降平台把头料下截断面调整至测试仪的测试高度进行少子寿命测试。