[发明专利]一种半导体场效应管在审
申请号: | 201811461251.4 | 申请日: | 2018-12-02 |
公开(公告)号: | CN109545857A | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 洪越 | 申请(专利权)人: | 仪征市坤翎铝业有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/417;H01L29/423 |
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地址: | 211400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝电极 半导体场效应管 衬底 对称 衬底上表面 衬底底面 抗辐射性 两端设置 温度特性 能力强 漏极 源极 噪音 | ||
本发明涉及一种半导体场效应管,包括P型硅衬底,所述P型硅衬底底面设置有第一铝电极,所述第一铝电极上设置有B型衬底引线,所述P型硅衬底上表面两端设置有对称N型区,所述对称N型区上方分别设置有第二铝电极、第三铝电极,所述第二铝电极上设置有源极,所述第三铝电极上设置有漏极,所述第二铝电极与第三铝电极之间设置有SiO2绝缘层,所述SiO2绝缘层上设置有第四铝电极,所述第四铝电极上设置有栅极。本发明结构简单、温度特性好、噪音低、抗辐射性能力强。
技术领域
本发明涉及一种半导体器件,尤其涉及一种半导体场效应管。
背景技术
场效应管就是场效应晶体管(Field Effect Transistor缩写(FET)),由多数载流子参与导电,也称为单极型晶体管。它属于电压控制型半导体器件。具有输入电阻高(108~109Ω)、噪声小、功耗低、动态范围大、易于集成、没有二次击穿现象、安全工作区域宽等优点,现已成为双极型晶体管和功率晶体管的强大竞争者。
目前,场效应管制造工艺已趋于完善,但仍存在结构复杂、抗辐射、噪音能力弱、温度特性差等问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、温度特性好、噪音低、抗辐射性能力强的半导体场效应管。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种半导体场效应管,包括P型硅衬底,所述P型硅衬底底面设置有第一铝电极,所述第一铝电极上设置有B型衬底引线,所述P型硅衬底上表面两端设置有对称N型区,所述对称N型区上方分别设置有第二铝电极、第三铝电极,所述第二铝电极上设置有源极,所述第三铝电极上设置有漏极,所述第二铝电极与第三铝电极之间设置有SiO2绝缘层,所述SiO2绝缘层上设置有第四铝电极,所述第四铝电极上设置有栅极。
所述P型硅衬底是一块杂质浓度较低的P型硅片,在上面扩散两个相距很近、掺杂浓度高的N型区,分别引出两个电极,分别称为源极和漏极,在硅片表面生成一层薄薄的绝缘层,绝缘层上再制作一层铝金属膜作为栅极。栅极与源极之间是3段断续线,表示为增强型,B为衬底引线,一般与源极相连。由于栅极与其他电极及硅片之间是绝缘的,所以称为绝缘栅型场效应管。
在上述技术方案的基础上,本发明还可以做如下改进。
进一步,所述B型衬底引线为镀铜金属线,所述镀铜金属线作为引线,具有较好的导电性有利于电流的收集,同时成本较低。
进一步,所述第一铝电极为铂铝合金,所述铂铝合金具有较强的抗氧化性,同时导电性好,有利于电子、空穴的传输。
进一步,所述SiO2绝缘层为绝缘陶瓷材料,所述绝缘陶瓷材料抗高温氧化,具有较好的温度特性和绝缘特性,有利于防止漏电现象。
本发明的有益效果是:结构简单、温度特性好、噪音低、抗辐射性能力强。
附图说明
图1为本发明一种半导体场效应管结构示意图;
附图中,各标号所代表的部件列表如下:1、P型硅衬底,2、对称N型区,3、第二铝电极,4、源极,5、栅极,6、SiO2绝缘层,7、第三铝电极,8、漏极,9、第四铝电极,10、第一铝电极,11、B型衬底引线。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
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