[发明专利]一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置

权利要求书

1.一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，包括卷绕镀膜设备本体(1)，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于镀膜鼓的表面等角度设有六组磁控溅射腔室(2)，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部位于每两组磁控溅射腔室(2)之间均设有真空腔室(3)，所述真空腔室(3)与磁控溅射腔室(2)之间设有溢出口(4)，且溢出口(4)内安装有单向阀(5)，所述真空腔室(3)的外侧安装有真空泵(7)，且真空泵(7)的进气端与真空腔室(3)的抽气口(6)连接固定，所述真空泵(7)的出气端通过管道固定连接有气体净化装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述卷绕镀膜设备本体(1)的两侧分别连接有内部设置辊筒的放卷室和收卷室，且卷绕镀膜设备本体(1)的内部设有用于抽真空的泵体。

3.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述单向阀(5)包括焊接在溢出口(4)内且一端伸入真空腔室(3)内的通气管(51)，所述通气管(51)伸入真空腔室(3)的一端内部滑动连接有塞柱(52)，且塞柱(52)的一端伸出通气管(51)一体式连接有挡板(53)，所述挡板(53)与通气管(51)之间固定安装有回力弹簧(54)，所述塞柱(52)的端部设有与塞柱(52)一侧连通的通孔(55)，且通气管(51)伸入真空腔室(3)的一端表面设有与通孔(55)相配合的气孔(56)。

4.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述气体净化装置(8)包括反应罐(81)，且反应罐(81)的顶部通过法兰固定安装有罐盖(82)，所述罐盖(82)的一侧穿插有底端伸入反应罐(81)内部底端的连接管(83)，且连接管(83)的顶端与真空泵(7)的出气端通过管道连接固定，所述反应罐(81)的底部设有带阀门的出料管(84)，且反应罐(81)的内部底端位于出料管(84)的外侧嵌装有电加热管(88)，所述反应罐(81)的一侧顶端焊接有带端盖的进料管(87)，所述罐盖(82)的顶部另一侧焊接有出气管(85)，且罐盖(82)的底部位于出气管(85)的外侧安装有填充活性炭的滤袋(86)。

5.根据权利要求4所述的一种柔性卷绕镀膜设备用杂气清理隔离装置，其特征在于：所述反应罐(81)的内部底端为开口向上的曲面弧型，且反应罐(81)的表面设有带刻度的观察窗。