[发明专利]一种细胞分布分析装置的制造方法

权利要求书

1.一种细胞分布分析装置的制造方法，其特征在于，包括制备微流控芯片，制备微流控芯片的方法包括如下步骤：

在模型衬底上制作出模型微槽阵列，其包括M列、N行个细胞微槽，其中，每个模型微槽的体积为0.1-10nl；

将模型微槽阵列转移到柔性材料上，形成表面具有细胞微槽阵列的微流控芯片，其中每个细胞微槽的体积为0.1-10nl；

对表面形成有细胞微槽阵列的微流控芯片表面进行亲水处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述模型微槽阵列转移到柔性材料形成所述细胞微槽阵列的方法为注模。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述模型微槽阵列转移到柔性材料形成所述细胞微槽阵列的方法包括如下步骤：将液态的柔性衬底材料平铺在所述模型衬底上，将铺有所述柔性衬底材料的所述模型衬底烘烤；然后冷却，将所述模型衬底上的模型微槽阵列图案转移到所述柔性衬底材料上；然后，将冷却后的所述柔性衬底材料与所述模型衬底分离。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，每个所述细胞微槽的体积为0.5-5nl。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述模型衬底包括硅片。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述柔性衬底包括PDMS衬底、PMMA衬底等。