[发明专利]RF电力分配装置及RF电力分配方法

权利要求书

1.一种RF电力分配装置，作为从连接有一个以上RF发生器(100)的匹配网络(200)的输出端向供负载(L1、L2、L3、L4、L5)连接的多个输出端(311、312、321、322、313)分配电力的RF电力分配装置，其特征在于，包括：

第一分歧点(P1)，其与所述匹配网络(200)的输出端连接；

一对以上的分歧模块(M1、M2)，其包括第一输出端(311、321)及第二输出端(312、322)、分歧为所述第一输出端(311、321)及所述第二输出端(312、322)的输出端分歧点(Pt)、安装于所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间的输出端可变元件(420、430)；

根可变元件(410)，其安装于所述一对以上的分歧模块(M1、M2)的输出端分歧点(Pt)与所述第一分歧点(P1)之间中至少一者；

所述输出端可变元件(420、430)一端连接于所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间，另一端接地；

在所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间，串联追加安装有具有固定电抗值的电抗元件(452)；

各所述分歧模块(M1、M2)之间的电力通过所述根可变元件(410)分配；

各所述分歧模块(M1、M2)内的第一输出端(311、321)及第二输出端(312、322)之间的电力通过所述输出端可变元件(420、430)分配。

2.根据权利要求1所述的RF电力分配装置，

所述根可变元件(410)安装于所述一对输出端分歧点(Pt)与所述第一分歧点(P1)之间中某一者，

在所述一对输出端分歧点(Pt)与所述第一分歧点(P1)之间中剩余一者，安装有具有固定电抗值的电抗元件(451)。

3.根据权利要求2所述的RF电力分配装置，其特征在于，

所述根可变元件(410)在所述输出端分歧点(Pt)及所述第一分歧点(P1)之间串联安装，

或一端连接于所述输出端分歧点(Pt)及所述第一分歧点(P1)之间，另一端接地。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的RF电力分配装置，其特征在于，

所述分歧模块(M1、M2)以所述第一分歧点(P1)为基准，安装成多对。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的RF电力分配装置，其特征在于，

所述第一分歧点(P1)追加结合有供追加负载(Lo)结合的一个以上的奇数输出端(313)，使得在结合于所述分歧模块(M1、M2)的所述多个输出端(311、312、321、322、313)的偶数个负载(L1、L2、L3、L4)基础上，全体负载数量达到奇数个。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的RF电力分配装置，其特征在于，

所述输出端可变元件(420、430)及所述根可变元件(410)具有容量性电抗。

7.一种RF电力分配方法，作为利用了权利要求1至3中某一项的RF电力分配装置的RF电力分配方法，其特征在于，依次控制按照从最靠近所述匹配网络(200)的第一分歧点(P1)到所述输出端分歧点(Pt)顺序配置的所述根可变元件(410)和所述输出端可变元件(420、430)的各电抗值，从而分配对各输出端(311、312、313、314)的RF电力。

8.根据权利要求7所述的RF电力分配方法，其特征在于，

所述第一分歧点(P1)追加结合有供追加负载(Lo)结合的一个以上的奇数输出端(313)，使得在结合于所述分歧模块(M1、M2)的所述多个输出端(311、312、321、322、313)的偶数个负载(L1、L2、L3、L4)基础上，全体负载数量达到奇数个。

9.一种RF电力分配装置，作为从连接有一个以上RF发生器(100)的匹配网络(200)向供负载(L1、L2、L3、L4、L5)连接的多对输出端(311、312、321、322、313)分配电力的RF电力分配装置，其特征在于，包括：

第一分歧点(P1)，其从所述匹配网络(200)分歧成一对；

多对输出端分歧点(Pt)，其作为所述多对输出端(311、312、321、322、313)而分歧成对；

(n-1)对(n为2以上的自然数)的第n分歧点(Pn)，其从所述第一分歧点(P1)至所述多对输出端分歧点(Pt)依次分歧1次以上；

输出端电抗元件(452、453)，其安装于所述各输出端分歧点(Pt)与第一输出端(311、321)之间；

输出端可变元件(420、430)，其一端连接于所述输出端电抗元件(452、453)及所述第一输出端(311、321)之间，另一端接地；

第n电容器，其除所述第一分歧点(P1)及第二分歧点(P2)之间之外，安装于所述第一输出端(311、321)及所述各输出端分歧点(Pt)之间各对第n分歧点(Pn)中某一者与第(n-1)分歧点(Pn-1)之间；

第n可变电容器，其除所述第一分歧点(P1)及第二分歧点(P2)之间之外，一端连接于所述第n电容器与所述第n分歧点(Pn)之间，另一端接地；

电抗元件(451)，其安装于所述一对第二分歧点(P2)中某一者与所述第一分歧点(P1)之间；

根可变元件(410)，其一端连接于所述电抗元件(451)及所述第二分歧点(P2)之间，另一端接地；

所述输出端可变元件(420、430)一端连接于所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间，另一端接地；

在所述输出端分歧点(Pt)及所述第一输出端(311、321)之间，串联追加安装有具有固定电抗值的电抗元件(452)；

各所述分歧模块(M1、M2)之间的电力通过所述根可变元件(410)分配；

各所述分歧模块(M1、M2)内的第一输出端(311、321)及第二输出端(312、322)之间的电力通过所述输出端可变元件(420、430)分配。