[发明专利]一种硅片打毛液

权利要求书

1.一种硅片打毛液，其特征在于：打毛液主要成分包括1~15wt%的氟化氢铵、20~50wt%的硝酸、30~60wt%无机酸、1~5wt%过硫酸铵、1~5wt%的醋酸及15-26wt%水；所述的无机酸为电子级硫酸、或电子级硫酸与电子级磷酸的混合物；电子级硫酸浓度≥98%，电子级磷酸浓度为85-86%。

2.根据权利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于：所述的氟化氢铵为优级纯，含量≥99.99%。

3.根据权利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于：所述的硝酸为电子级硝酸，浓度为68-72%。

4.根据权利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于：所述过硫酸铵为优级纯，含量≥99.95%。

5.根据权利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于：所述醋酸能抑制硝酸氧化，所述醋酸为电子级醋酸，浓度≥99.8%。

6.根据权利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于：所述水为在25℃下电阻率为15-18MΩ*cm的超纯水。