[发明专利]测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法

权利要求书

1.一种测试机，其特征在于，包括：

载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；

探针卡，设置在所述载物平台的上方，能沿平行于所述承载面和垂直于所述承载面的方向移动以及绕垂直于所述承载面的转轴转动，所述探针卡包括多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；

对位组件，包括：

至少两个第一激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；

第二激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束；

其中，所述第一激光发射装置能沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二激光发射装置能沿平行于所述第一激光束的方向移动。

2.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述对位组件还包括摄像机和第三激光发射装置，所述摄像机位于所述探针卡背离所述载物平台的一侧且能沿平行于所述承载面方向移动，所述第三激光发射装置安装于所述摄像机上，

所述摄像机能朝载物平台一侧摄像，所述第三激光发射装置能向靠近所述载物平台一侧发射第三激光束，所述第三激光束垂直于所述承载面。

3.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述探针卡还包括部分或全部透明的探针座；

所述探针均从所述探针座向靠近所述载物平台的一侧延伸，至少一根所述探针安装在所述探针座的透明部分。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测试机，其特征在于，所述对位组件还包括激光接收装置；

所述激光接收装置的数量与所述第一激光发射装置的数量相同，所述激光接收装置与所述第一激光发射装置一一对应设置，所述第一激光发射装置与其相对应的所述激光接收装置分别位于所述载物平台的两侧；

所述第一激光发射装置向与其相对应的所述激光接收装置发射所述第一激光束，所述激光接收装置用于感应是否接收到所述第一激光束。

5.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述测试机还包括平台运动机构，所述平台运动机构设置在所述载物平台的底部，所述平台运动机构包括：

第一直线执行机构；

第二直线执行机构，所述第二直线执行机构安装在所述第一直线执行机构上；

第一转动执行机构，所述第一转动执行机构安装在所述第二直线执行机构上，所述载物平台安装在所述第一转动执行机构上；

其中，所述第一直线执行机构用于驱动所述第二执直线行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二直线执行机构用于驱动所述第一转动执行机构沿平行于所述第一激光束的方向移动，所述第一转动执行机构用于驱动所述载物平台绕垂直于所述承载面的轴线转动。

6.根据权利要求5所述的测试机，其特征在于，所述测试机还包括探针运动机构，所述探针运动机构设置在所述载物平台的上方，所述探针运动机构包括：

第三直线执行机构；

第四直线执行机构，所述第四直线执行机构安装在所述第三直线执行机构上；

升降机构，所述升降机构安装在所述第四直线执行机构上；

第二转动执行机构，所述第二转动执行机构安装在所述升降机构上，所述探针卡安装在所述第二转动执行机构上；

其中，所述第三直线执行机构用于驱动所述第四直线执行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第四直线执行机构用于驱动所述升降机构沿平行于所述第一激光束的方向移动，所述升降机构用于驱动所述转动执行机构沿垂直于所述承载面的方向远离或靠近所述承载面，所述第二转动执行机构用于驱动所述探针卡绕垂直于所述承载面的方向的轴线转动。