[发明专利]一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法

权利要求书

1.一种基于对称结构的材料放气率测试系统，其特征在于，包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱，其中恒温箱用于为系统提供恒温；所述机械泵分别与第一真空阀门、第二真空阀门的一端连接，且第一真空阀门的另一端与分子泵的抽气出口连接；所述分子泵的抽气入口分别与第一真空计、第二真空阀门的另一端、第三真空阀门的一端、第四真空阀门的一端连接；所述第三真空阀门的另一端与第二真空室连接，且第四真空阀门的另一端与第四真空室连接；所述第二真空室通过第一小孔元件与第一真空室相连通，及第四真空室通过第二小孔元件与第三真空室相连通；并且，所述第二真空计分别通过第五真空阀门、第六真空阀门连接至第二真空室、第四真空室，所述第三真空计分别通过第七真空阀门、第八真空阀门连接至第一真空室、第三真空室；所述第一真空室上设置第一进样阀门和第三真空室上设置第二进样阀门。

2.根据权利要求1所述的基于对称结构的材料放气率测试系统，其特征在于，所述第一真空计为满量程为1000Torr的全量程真空计。

3.根据权利要求1所述基于对称结构的材料放气率测试系统，其特征在于，第二真空计和第三真空计为超高真空分离规。

4.根据权利要求1所述的基于对称结构的材料放气率测试系统，其特征在于，所述系统的测量下限为1×10^-11Pam³/s。

5.一种基于权利要求1至3任一项所述的基于对称结构的材料放气率测试系统的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将待测材料样品放入第一真空室，并关闭第一进样阀门；且依次打开第一真空计、机械泵、第一至第八真空阀门对系统抽真空；当监测的第一真空计的示数小于设定第一阈值时，开启分子泵对四个真空室抽真空；

步骤2、监测第一真空计示数小于设定第二阈值时，关闭第五和第七真空阀门，打开第二和第三真空计，并开始计时和对第二和第三真空计进行除气后，分别用第二真空计和第三真空计测量第三和第四真空室的真空度，分别计为p_a0、p_b0；再关闭第六和第八真空阀门，打开第五和第七真空阀门，分别用第二和第三真空计测量第一和第二真空室的真空度，分别计为p_a、p_b；

步骤3、重复所述步骤2，每隔一段时间测量并记录一次各真空室的真空度p_a0、p_b0及p_a、p_b；

步骤4、基于步骤3所得，根据公式Q_outgasing＝C·[(p_a-p_a0)-(p_b-p_b0)]计算得到每个时刻材料释放的气体流量,其中C为气体浓度；并根据已知待测材料样品的几何表面积A，由公式q＝Q_outgasingA计算得到待测材料样品的放气率。

6.根据权利要求5所述的测试方法，其特征在于，所述步骤1中设定的第一阈值为10Pa。

7.根据权利要求5所述的测试方法，其特征在于，所述步骤2中设定的第二阈值为1×10^-2Pa。