[发明专利]一种气相沉积炉

说明书

本发明公开了一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。本发明提供的该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。

技术领域

本发明涉及化工设备领域，更具体地说，特别涉及一种气相沉积炉。

背景技术

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。

化学气相沉积法是生产碳碳、碳化硅、氮化硼等复合材料的常用方法，在沉积工艺的进行过程中，产品重量会逐渐增加，但由于目前气相沉积炉结构设计的局限性，现有气相沉积炉都不能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，只能是工艺完成后再取出工件进行称量，如此，在气相沉积工艺过程中，操作者无法根据工件的具体沉积状态调整设备的工艺参数及沉积时间，极大影响了工件的处理质量。

发明内容

本发明要解决的技术问题为提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。

一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。

优选地，所述料板的前后左右四个角均设置有导力杆。

优选地，所述导力杆下段套设有波纹管，所述波纹管顶面压紧在所述壳体底板的下表面上，所述波纹管底面压紧在所述重量传感器上。

优选地，所述密封板与所述保温室之间设置有相互匹配的阶梯面。

优选地，所述料板上设置有均匀密布的透气孔。

优选地，所述壳体上设置有用于所述壳体内腔气压监测的压力传感器。

优选地，所述壳体外部设置有控制器，所述压力传感器及所述重量传感器均与所述控制器相连接。

优选地，所述保温室底面与所述壳体底板的上表面之间设置有环形挡板，且所述密封板被所述环形挡板所包围。

优选地，所述密封板上插设有用于所述保温室内气相沉积所需反应气体输入的进气管，所述保温室顶板上插设有用于所述保温室气相沉积反应后气体输出的出气管。

本发明的有益效果是：本发明提供的气相沉积炉具体实施时，壳体与保温室为一个整体而保持静止，随着工件气相沉积层的增加，料板受重越来越大，此时，料板会将重力传导至导力杆，由于导力杆与密封板、料板相固定连接，而密封板与保温室相分离且导力杆与壳体相分离，因此，工件、料板、导力杆、密封板会作为一个整体一起下压在重量传感器上，进而重量传感器便可以测出此时的重量数据，再减去原始气相沉积前工件、料板、导力杆、密封板的重量数据，进而便可以得出工件上气相沉积层的重量。从而无需再等工件出炉就能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。

附图说明