[发明专利]一种用于扩散炉的炉门结构在审
| 申请号: | 201811426083.5 | 申请日: | 2018-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN109373763A | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
| 发明(设计)人: | 陈庆敏 | 申请(专利权)人: | 无锡正隆星源电子科技有限公司 |
| 主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18 |
| 代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 王闯;葛莉华 |
| 地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 炉门 炉门门体 炉门结构 驱动机构 扩散炉 气缸连接块 密封性能 限位开关 限位块 支撑板 气缸 半导体加工设备 底板 向心关节轴承 炉门连接杆 便于安装 工艺要求 滑杆组件 滑轨组件 炉门本体 生产效率 无杆气缸 限位转轴 行程控制 占用空间 连接板 石英门 支撑轴 减小 铝门 维护 | ||
1.一种用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:炉门门体和炉门驱动机构;
所述炉门门体包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门,所述炉门支撑板的中心连接炉门支撑轴,四周通过螺栓与铝门的一面固定,所述铝门一面的中心安装有向心关节轴承,另一面通过弹簧螺栓与连接板的一面连接,所述连接板的另一面与石英门连接,所述限位转轴的一端安装于向心关节轴承内,另一端穿过轴承压盖后与炉门支撑轴的中心连接,所述铝门朝向石英门的一面上开设有1个环形凹槽,所述环形凹槽的截面积自铝门向石英门方向逐渐减小,所述环形凹槽环形分布于铝门上并位于石英门圆周的外侧,环形凹槽内安装有O型密封圈;
所述炉门驱动机构包括底板、2个滑杆组件、支撑板、无杆气缸、滑轨组件、炉门连接杆、第一气缸、第二气缸、第一气缸连接块、第二气缸连接块、第一限位块、2个第一限位开关、第二限位块和2个第二限位开关,每个滑杆组件包括相匹配的滑杆和滑块,2个滑杆平行设置且每个滑杆的两端分别通过滑杆支撑座固定于底板上,2个滑块的顶面均与支撑板的底面连接,所述无杆气缸的两端通过气缸支撑座固定于支撑板的顶面上,所述滑轨组件包括相匹配的滑轨和滑槽,所述滑槽固定于支撑板顶面上,所述滑轨嵌入滑槽内且顶面与炉门连接杆连接,所述炉门连接杆一端的顶面与无杆气缸活动部的底面连接,另一端与炉门支撑轴的中心连接,所述第一气缸和第二气缸并排设置且两者缸体连接,活塞杆伸出方向相反,所述第一气缸和第二气缸的活塞杆均与滑杆平行,且第一气缸的活塞杆通过第一气缸连接块与底板侧边连接,第二气缸的活塞杆通过第二气缸连接块与支撑板的侧边连接,所述无杆气缸移动方向与第一气缸移动方向垂直,所述第一限位块固定于炉门连接杆的一个侧面上且位于与无杆气缸连接的一端,所述2个第一限位开关设于支撑板顶面的同一侧,所述第一限位块与2个第一限位开关相配合,用于限定无杆气缸的行程,所述第二限位块固定于支撑板底面,所述2个第二限位开关设于底板顶面同一侧,所述第二限位块与2个第二限位开关相配合,用于限定第一气缸和第二气缸的行程。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述炉门支撑轴外周套接有支撑轴压块,所述炉门连接杆通过支撑轴压块与支撑轴连接。
3.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述环形凹槽的纵向剖面为梯形。
4.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述O型密封圈为耐高温密封圈。
5.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述炉门支撑板为三角形。
6.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述炉门驱动机构还包括第三限位块和机械限位块,所述第三限位块固定于炉门连接杆的另一个侧面上且位于与无杆气缸连接的一端,所述机械限位块设于支撑板顶面且位于远离炉门连接杆的一侧,所述机械限位块与第三限位块相配合,用于限定无杆气缸的行程。
7.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述炉门驱动机构的任意一个滑杆上还设有第四限位块,所述第四限位块位于滑杆靠近第二气缸活塞杆的一端,所述第四限位块与该滑杆上的滑块配合,用于限定第二气缸的行程。
8.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门结构,其特征在于:所述无杆气缸上设有调速阀。
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