[发明专利]一种加热旋转平台装置及其使用方法

权利要求书

1.一种加热旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6)，其中固定架(5)固接于单元平台(1)上，所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上，中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上，并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转；所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连，另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2)，该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。

2.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述连接法兰(3)为中空结构，两端分别与中空旋转平台(6)及加热盘(2)的底面固接。

3.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述单元平台(1)上开设有通孔，所述连接法兰(3)由该通孔穿过，所述通孔直径大于或等于连接法兰(3)的外径。

4.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述加热丝电线(7)的一端与加热盘(2)相连，另一端依次穿过连接法兰(3)、中空旋转平台(6)后与位于所述单元平台(1)下部的加热电气件连接。

5.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述真空管(8)的一端与加热盘(2)相连，另一端依次穿过连接法兰(3)、中空旋转平台(6)后通过真空管路与位于所述单元平台(1)下部的负压源相连通。

6.一种权利要求1至5任一权利要求所述加热旋转平台装置的使用方法，其特征在于：在进行喷胶工艺作业时，当前后两片晶圆进行相同工艺时，所述中空旋转电机(4)驱动中空旋转平台(6)旋转，进而带动连接法兰(3)及加热盘(2)旋转，该加热盘(2)顺时针旋转设定工艺角度，直到旋转至一片晶圆工艺做完；待下一片晶圆进行喷胶作业时，所述加热盘(2)在当前位置再通过中空旋转电机(4)的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转回原位，此片晶圆工艺也作业完成；当前后两片晶圆进行不同工艺时，前一片晶圆工艺做完后，所述加热盘(2)通过中空旋转电机(4)的驱动回归原位，然后再进行下一片不同工艺作业的晶圆，通过中空旋转电机(4)的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转至下一片晶圆工艺做完。