[发明专利]一种精密直线运动台在审
| 申请号： | 201811422549.4 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109510430A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张君安;李子昂;李博;刘波 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H02K41/03 | 分类号： | H02K41/03 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导轨 永磁体阵列 精密直线运动 载物台 背铁 动子 两组 过盈配合连接 传统运动 磁体阵列 开口朝上 气体薄膜 台本发明 气浮式 上端面 下端面 滑动 等长 气浮 | ||
1.一种精密直线运动台，包括基座（1），所述基座（1）上设置有导轨（2），导轨（2）上设置载物台（3），其特征在于：所述导轨（2）为气浮式结构，载物台（3）的下端面与导轨（2）的上端面之间形成气体薄膜，载物台（3）可沿导轨（2）气浮滑动；所述载物台（3）下端通过过盈配合连接有动子（4），所述导轨（2）为开口朝上的U形结构，导轨（2）相对的内侧面上分别设置有两组永磁体阵列模块（5），所述永磁体阵列模块（5）与导轨（2）等长，所述动子（4）夹设在两组永磁体阵列模块（5）中间；
所述永磁体阵列模块（5）包括背铁（6）和粘设在背铁（6）内的梯形磁体阵列，背铁（6）固定于导轨（2）内侧，所述梯形磁体阵列由多个沿导轨长度方向排列的磁体单元（7）顺序相接构成，磁体单元（7）为等腰梯形，相邻的磁体单元（7）上底紧挨着相邻磁体单元（7）的下底，磁体单元（7）的充磁角度依次改变90度；
两组永磁体阵列模块（5）上的磁体单元（7）均相对对称设置，沿中心线对称分布的磁体单元（7）水平充磁方向相反，沿中心线对称分布的磁体单元（7）垂直充磁方向相同。
2.根据权利要求1所述精密直线运动台，其特征在于：所述等腰梯形下角角度变化在45度-53度范围内。
3.根据权利要求1或2所述精密直线运动台，其特征在于：所述导轨（2）两端外设置有端盖（8），在所述导轨（2）两端内壁均设置有防撞块（9）；所述基座（1）上设置光栅尺（10），载物台（3）上设置有光栅尺读数头（11），所述光栅尺（10）和光栅尺读数头（11）通过线缆连接，线缆通过拖链（12）约束。
4.根据权利要求3所述精密直线运动台，其特征在于：所述磁体单元（7）由钕铁硼永磁体制成。
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