[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 201811420289.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109371367A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈良 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体容室 输送管 蒸发器 加热单元 蒸镀材料 蒸镀装置 加热蒸发器 控制器电性 间隔设置 蒸发气体 控制器 喷嘴 气压 容置 连通 蒸发 室内 外围 | ||
1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
一蒸发器，用于容置并蒸发待蒸镀材料；
一气体容室，用于收集所述待蒸镀材料的蒸发气体，在所述气体容室的一端面上设有多个间隔设置的喷嘴；
多个输送管，设于所述蒸发器及所述气体容室之间，且各所述输送管的二端分别连通于所述蒸发器及所述气体容室；
一加热单元，设于所述蒸发器、所述气体容室及所述多个输送管的外围，用于加热所述蒸发器、所述气体容室及所述多个输送管；以及
一控制器，电性连接于所述加热单元，用于控制所述加热单元的温度，使得所述气体容室内的温度和气压分别维持在一预定数值。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述加热单元包括一第一加热元件，设于所述蒸发器的外围，所述第一加热元件电性连接于所述控制器。
3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于：所述加热单元还包括至少一个第二加热元件，设于所述多个输送管的外围，所述至少一个第二加热元件电性连接于所述控制器。
4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于：所述加热单元还包括一第三加热元件，设于所述气体容室的外围，所述第三加热元件电性连接于所述控制器。
5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发器为坩埚。
6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个输送管间隔设置于所述蒸发器及所述气体容室之间。
7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述气体容室为长条箱体。
8.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述加热单元为加热丝或加热片。
9.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述多个喷嘴线性均匀等距地排列于所述气体容室的端面上。
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