[发明专利]一种直写光刻设备的位置同步方法及系统

权利要求书

1.一种直写光刻设备的位置同步方法，其特征在于，其用于通过DMD数字微镜图像中设置的FPGA处理器，对DMD数字微镜图像输出与运动平台之间的位置进行同步，FPGA处理器进行位置同步包括如下步骤：

FPGA处理器对单端信号进行检测，该单端信号为运动平台的驱动器输出的位置同步信号转化得到；

在检测到单端信号时，触发FPGA处理器内部输出一个时钟信号；

利用所述时钟信号触发输出DND数字微镜和运动平台之间的扫描数据；还包括：

所述FPGA处理器记录所述位置同步信号的数量和所述时钟信号的数量；

在曝光完成后，所述FPGA处理器将所述位置同步信号的数量和所述时钟信号的数量，一并上传至上位机，以供上位机对图形曝光进行监控。

2.如权利要求1所述的直写光刻设备的位置同步方法，其特征在于，所述时钟信号的频率高于所述位置同步信号的频率。

3.如权利要求1或2所述的直写光刻设备的位置同步方法，其特征在于，所述位置同步信号的脉宽为所述运动平台触发位置信号的距离L，所述时钟信号的频率为V/L，其中V表示所述运动平台的移动速度。

4.如权利要求1所述的直写光刻设备的位置同步方法，其特征在于，还包括：

所述上位机判断所述位置同步信号和所述时钟信号的数量是否相同；

若是，则曝光成功；

若否，则发出曝光异常信号。

5.一种直写光刻设备的位置同步系统，其特征在于，其用于通过DMD数字微镜图像中设置的FPGA处理器，对DMD数字微镜图像输出与运动平台之间的位置进行同步，FPGA处理器包括检测模块、时钟信号生成模块以及触发模块；

检测模块用于对单端信号进行检测，该单端信号为运动平台的驱动器输出的位置同步信号转化得到；

时钟信号生成模块用于在检测到单端信号时，触发FPGA处理器内部输出一个时钟信号；

触发模块用于利用所述时钟信号触发输出DND数字微镜和运动平台之间的扫描数据；

所述FPGA处理器还包括计量模块和上传模块；

计量模块用于记录所述位置同步信号的数量和所述时钟信号的数量；

上传模块用于在曝光完成后，所述FPGA处理器将所述位置同步信号的数量和所述时钟信号的数量，并上传至上位机，以供上位机对图形曝光进行监控。

6.如权利要求5所述的直写光刻设备的位置同步系统，其特征在于，所述时钟信号的频率高于所述位置同步信号的频率。

7.如权利要求5或6所述的直写光刻设备的位置同步系统，其特征在于，所述时钟信号的脉宽为所述运动平台触发位置信号的距离L，所述时钟信号的频率为V/L，其中V表示所述运动平台的移动速度。

8.如权利要求5所述的直写光刻设备的位置同步系统，其特征在于，所述上位机包括判断模块和预警模块；

判断模块用于判断所述位置同步信号和所述时钟信号的数量是否相同；

若否，则利用预警模块发出曝光异常信号。