[发明专利]一种全自动硅片清洗机的废水处理装置

说明书

本发明公开了一种全自动硅片清洗机的废水处理装置，涉及废水处理技术领域，该全自动硅片清洗机的废水处理装置，包括处理箱，所述处理箱的两侧内壁上端均固定连接有固定板，两个所述固定板的上方均设置有缓冲板，所述缓冲板的下表面一端固定连接斜块的上表面，所述斜块的下表面固定连接第一竖杆的一端，所述第一竖杆的上端外侧套接有压板，所述第一竖杆的外侧套接有复位弹簧，所述缓冲板的下表面另一端固定连接第二竖杆的顶端。该全自动硅片清洗机的废水处理装置，通过缓冲板和复位弹簧的配合设置，能够对水流进行缓冲，减小水流对过滤板的冲击，有效的保护了过滤板，从而能够提升过滤板的使用寿命。

技术领域

本发明涉及废水处理技术领域，具体为一种全自动硅片清洗机的废水处理装置。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷。全自动硅片清洗机对硅片进行清洗之后会产生废水，现有的废水处理装置内未设置保护装置，将废水排进废水处理装置过程中，由于水流冲击过大，会对过滤板造成冲击，经过长时间使用有可能造成过滤板损坏，导致废水处理设备无法正常使用，因此，我们提出一种全自动硅片清洗机的废水处理装置用来解决过滤板损坏的问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种全自动硅片清洗机的废水处理装置，解决了现有的废水处理装置用的过滤板损坏的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种全自动硅片清洗机的废水处理装置，包括处理箱，所述处理箱的两侧内壁上端均固定连接有固定板，两个所述固定板的上方均设置有缓冲板，所述缓冲板的下表面一端固定连接斜块的上表面，所述斜块的下表面固定连接第一竖杆的一端，所述第一竖杆的上端外侧套接有压板，所述第一竖杆的外侧套接有复位弹簧；

所述缓冲板的下表面另一端固定连接第二竖杆的顶端，所述第二竖杆的底端贯穿固定板远离处理箱内壁的一端并位于固定板的下方，所述第二竖杆的底端固定连接横板的上表面一端；

所述缓冲板的上表面一端通过橡胶板与处理箱的顶端内壁固定连接，所述处理箱的内腔下端固定安装有过滤板，所述处理箱的两侧内壁上端均开设有滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑动块，所述滑动块与缓冲板的一端固定连接。

可选的，所述第一竖杆的另一端依次贯穿压板的中部和固定板的中部一侧并位于固定板的下方；

所述第一竖杆的另一端与横板的上表面另一端固定连接。

可选的，所述复位弹簧的一端与压板的下表面固定连接；

所述复位弹簧的另一端与固定板的上表面固定连接。

可选的，所述橡胶板的顶端与处理箱的顶端内壁固定连接；

所述橡胶板的底端与缓冲板的上表面固定连接。

可选的，所述过滤板的一端与处理箱的一侧内壁固定连接；

所述过滤板的另一端与处理箱的另一侧内壁固定连接。

可选的，所述处理箱的顶端中部固定连接有进水管；

所述进水管的一端固定连接有两个支管，所述支管位于缓冲板的上方；

所述处理箱的一侧下端开设有出水口。

可选的，所述缓冲板的前后两侧均固定连接有挡板。

(三)有益效果