[发明专利]自动扫描水模体系统定位性能测量装置在审

专利信息
申请号: 201811407556.7 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN109568810A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 张辉;龚晓明;张彦立;夏渲;张健 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: A61N5/10 分类号: A61N5/10
代理公司: 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 代理人: 戴丽伟
地址: 100094 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 运动检测装置 激光位移传感器 定位性能 自动扫描 水模体 游标 探测器运动 延长装置 高度尺 支架 主尺 非接触方式检测 探测器移动 测量装置 检测装置 支架移动 探测器
【权利要求书】:

1.一种自动扫描水模体系统定位性能检测装置,其特征在于,包括:

X轴向和Y轴向运动检测装置,Z轴向运动检测装置,探测器运动轨迹延长装置,支架;

所述X轴向和Y轴向运动检测装置包括X轴向的主尺、游标和第一激光位移传感器,所述游标安装在所述主尺上,所述第一激光位移传感器安装在所述游标上;

所述Z轴向运动检测装置包括高度尺和第二激光位移传感器,所述第二激光位移传感器安装在所述高度尺上;

所述探测器运动轨迹延长装置包括探测器运动轨迹延杆和反射目镜,所述探测器运动轨迹延杆的一端安装在所述自动扫描水模体系统的探测器移动支架上,另一端安装有所述反射目镜;

所述X轴向和Y轴向运动检测装置和所述Z轴向运动检测装置安装在所述支架上。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述游标为数显游标。

3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述支架包括支撑及水平调整座。

4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述支架包括直线导轨,所述直线导轨与所述主尺平行安装在所述支撑及水平调整座上,所述游标和所述第一激光位移传感器可滑动安装在所述直线导轨上。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述反射目镜与所述第二激光位移传感器对应安装。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述X轴向和Y轴向运动检测装置的主尺的量程不小于500毫米。

7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述Z轴向运动检测装置的高度尺的量程不小于500毫米。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述X轴向和Y轴向运动检测装置的精度不大于1微米,所述Z轴向运动检测装置的精度不大于1微米。

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