[发明专利]一种Hf-BHfN-BHfNC复合涂层刀具及其制备方法有效
| 申请号： | 201811406259.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109518184B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 吴泽;赵国龙;邢佑强;黄鹏 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C25D3/54;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 曾教伟 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 hf bhfn bhfnc 复合 涂层 刀具 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种Hf-BHfN-BHfNC复合涂层刀具，其特征在于：刀具基体材料为高速钢材料，涂层由内至外依次为Hf过渡层、BHfN硬涂层、BHfNC硬涂层；该复合涂层刀具是通过如下方法制备：采用电镀的方法在高速钢刀具基体表面沉积Hf元素，并热处理促进Hf元素与基体材料的扩散，形成高结合强度的过渡层；采用磁控溅射的方法在过渡层表面分别依次沉积BHfN涂层和BHfNC涂层。
2.根据权利要求1所述的Hf-BHfN-BHfNC复合涂层刀具，其特征在于：过渡层电解沉积使用的电解液为HfCl4电解液，浓度为5～10wt.％，阳极为金属铪材，电镀沉积过渡层厚度为0.2～0.5μm；过渡层热处理在真空加热炉中加热保温实施，加热保持温度在300～500℃。
3.根据权利要求1所述的Hf-BHfN-BHfNC复合涂层刀具，其特征在于：BHfN涂层的制备选用高纯度单质硼、单质铪作为射频靶材，通氮气和氩气的混合气体，氮气与氩气的质量分数占比为1:5，沉积气压0.6-1.0Pa，沉积BHfN涂层厚度达0.5～0.8μm。
4.根据权利要求1所述的Hf-BHfN-BHfNC复合涂层刀具，其特征在于：BHfNC涂层的制备选用碳化硼、单质铪作为射频靶材，通氮气和氩气的混合气体，沉积温度为350～450℃，沉积BHfNC涂层厚度达0.5～1.0μm。
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