[发明专利]一种镭射调阻机

说明书

本发明公开了一种镭射调阻机，包括机体、罩体、设置在罩体内部的激光发射筒机构和激光器分步动作控制系统运动系统，所述激光发射筒机构包括一号激光发射筒体和二号激光发射筒体，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体对称倾斜设置，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体的内部均设置有激光发射器，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体的两个侧壁上均开设有螺孔，该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓，所述激光发射器均通过锁紧螺栓微调位置；本发明通过在激光发射筒机构内设置一号激光发射筒体和二号激光发射筒体，再在一号激光发射筒体和二号激光发射筒体内均设置激光发射器，能够同时发射出两束激光，从而提高该镭射调阻机的工作效率。

技术领域

本发明涉及机械领域，特别涉及一种镭射调阻机。

背景技术

激光调阻工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中，现今由于人们对器件的微型化要求越来越高甚至到苛刻的地步，电路的微型化要求也越来越高，在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中，对精密激光调阻机有着相当高的要求，而且这些电路的工艺只有激光调阻才能解决。

激光调阻机是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上，通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻，通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行，通过实时测量电路能够实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化，使厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值。当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭，即实现激光调阻的过程。

现有的激光调阻机的工作台罩有两种形式：上拉式或侧拉式。上拉式工作台罩的工作门沉重，当向上开启工作门时，需要较大气力，开启和关闭过程均不方便。侧拉式工作台罩的工作门为侧向开门方式，占用较大空间，开启后，如不小心依靠工作门，容易致使工作门变形，无法回位，同时，可能伤及工作人员。

另外，由于激光调阻加工时激光器分步动作控制系统需要重复运动、探针需要重复升降，而且对运动效率要求非常高，整个高速运动对基台会产生一定的反作用力，这对加工产品位置会有一定的影响。

因此，需要设计一种新型的镭射调阻机用来解决以上的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种镭射调阻机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种镭射调阻机，包括机体、罩体、设置在罩体内部的激光发射筒机构和激光器分步动作控制系统运动系统，所述激光发射筒机构包括一号激光发射筒体和二号激光发射筒体，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体对称倾斜设置，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体的内部均设置有激光发射器，所述一号激光发射筒体和二号激光发射筒体的两个侧壁上均开设有螺孔，该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓，所述激光发射器均通过锁紧螺栓微调位置。

优选的，所述激光器分步动作控制系统运动系统包括驱动电机和二号环形电磁铁，所述驱动电机的外围固定有一圈一号环形电磁铁，所述二号环形电磁铁设置在一号环形电磁铁的外侧，且所述驱动电机通过一号环形电磁铁和二号环形电磁铁相互间的斥力悬浮在空中。

优选的，所述罩体的前侧设置有前罩门，所述罩体的两侧壁为侧框架，一个侧框架的内部底端的一角设置有一号主动轮，该侧框架的内部其他三角处均设置有从动轮，且该一号主动轮通过皮带连接其他三个从动轮；另一个侧框架的内部底端的一角设置有与一号主动轮相对应的二号主动轮，该侧框架的内部的其他三角处也均设置有从动轮，所述二号主动轮通过皮带连接与其同一侧的三个从动轮；所述前罩门固定在两个皮带上。