[发明专利]应用于扫描电镜的样品固定装置

说明书

本申请公开了应用于扫描电镜的样品固定装置，特别适用于碳纤维生产领域，所述装置包括中间夹持部，和设置于一侧的端夹持部，所述端夹持部靠近所述中间夹持部的侧壁与所述中间夹持部侧壁可拆卸连接。本申请应用于扫描电镜的样品固定装置实现样品的截面和表面同时观察，并保证观察区域与光束垂直。

技术领域

本申请涉及微观分析领域常用的设备，尤其涉及一种应用于扫描电镜的样品固定装置。

背景技术

扫描电镜是微观分析领域常用的设备，可用于多种样品的形貌观察，样品的制备直接关系到成像质量，传统的制样方式是将样品用导电胶带粘在样品台上，然后将样品台固定在样品基座上，样品截面制备时需要将样品竖直放置，使样品截面朝上，粘在样品台上，或是用多层导电胶带固定，粘在样品台的侧面，但由于样品竖直放置不稳固，如果粘在侧面，可能会超出观察范围，尤其是在观察长条状样品截面时，制样弊端尤其明显。

而目前，虽然有关于公告号为CN204088258U的专利文献公开了一种有凹槽的样品台，样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽。竖直凹槽的槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝；一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20-40度。采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察，采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察。

但对于上述文献中实际上所述样品台凹槽宽度为0.5-1mm，宽度较小，观察样品的种类有局限性，并且倾斜凹槽在观察表面或截面时，只能在成像部位很小的范围内成像清晰，效果不是很好。尤其是对于扩大观察样品的厚度范围，在同一样品台上实现样品的截面和表面同时观察，并不保证观察区域与光束垂直,并能在样品台上固定样品的装置，所以亟待改进。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种同一样品台上实现样品的截面和表面同时观察，并保证观察区域与光束垂直的应用于扫描电镜的样品固定装置。

第一方面，应用于扫描电镜的样品固定装置，包括中间夹持部，和设置于一侧的端夹持部，所述端夹持部靠近所述中间夹持部的侧壁与所述中间夹持部侧壁可拆卸连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部相对靠近所述端夹持部的侧壁设有至少两个配接孔，所述端夹持部与所述中间夹持部的配接孔正对应位置设有的贯穿孔，配接杆贯穿所述端夹持部的贯穿孔与所述中间夹持部配接孔配接，通过旋动配接杆，来调节所述端夹持部与所述中间夹持部的距离。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部为长方体，且其所述中间夹持部的两端部为弧形。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部为长方体。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述中间夹持部的两侧边长度与宽度均大于所述端夹持部的长度与宽度。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设有数个，且均与所述中间夹持部可拆卸连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设2个，且对称分布在所述中间夹持部的两侧。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部设4个，且环形阵列排布在所述中间夹持部周围。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述端夹持部与所述中间夹持部相对内侧壁均设有护板，所述护板上均设有弹性垫。

综上所述，本申请的上述技术方案通过将样品台分为三部分，中间夹持部、端夹持部和中间夹持部、端夹持部之间设有固定样品的夹持区域部分，该区域设有连接中间夹持部和端夹持部的固定工具配接杆，通过旋动配接杆来调节端夹持部和中间夹持部之间的距离，以便固定和夹持样品。

中间夹持部可直接粘贴样品，此类样品通过粘贴即可起到较好的固定作用，进行样品的表面观察，也可粘贴其他样品，如粉末样品、片状样品等。