[发明专利]晶圆传输装置

权利要求书

1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包含：

一负载腔模块，具有第一侧与第二侧，在该第一侧与第二侧之间连通形成至少一负载腔室，该负载腔室内设有至少一对晶圆支架，每一晶圆支架包含一主体，该主体平行延伸一对支撑臂，且每一支撑臂上设有一支撑球和一置中限位块；

还包括一设备前端模块，衔接配置于负载腔模块的第一侧；

及一转换腔模块，衔接配置于负载腔模块的第二侧，

其中置中限位块具有一轴心，且形成一平行于该轴心的限位面，以及一与该轴心间具有一夹角的对中面。

2.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，一对晶圆支架为分体设计，且设置于负载腔室的相对侧壁上。

3.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述的支撑球和置中限位块的材料为单晶体材料。

4.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述的晶圆支架的主体设置于负载腔室的相对侧壁的其中一侧壁。

5.如权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，其中支撑球设置在支撑臂上远离负载腔室的侧壁，且支撑球为可旋转或固定不会脱落。

6.如权利要求5所述的晶圆传输装置，其特征在于，其中置中限位块设置在支撑臂上靠近负载腔室的侧壁。

7.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，其中置中限位块的轴心到一对晶圆支架所支承的晶圆的圆心的距离大于该晶圆的半径。

8.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，其中负载腔室内设有两对晶圆支架，两对晶圆支架彼此叠加 安装于该负载腔室的相对侧壁。

9.如权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，一对晶圆支架的支撑球用于支撑晶圆的下表面。