[发明专利]一种锑化镓单晶片侧边打磨设备在审

专利信息
申请号: 201811392803.0 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109531297A 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 王歆;吴秀丽;陈琳 申请(专利权)人: 湖南大合新材料有限公司
主分类号: B24B5/04 分类号: B24B5/04;B24B5/50;B24B47/12;B24B47/22;B24B41/06;B24B55/06
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 曾志鹏
地址: 421000 湖南省衡阳市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 锑化镓单晶 升降座 上端 打磨 电机 打磨机构 打磨设备 真空吸盘 直线导轨 固定板 支撑架 支撑座 侧边 侧面 柜体 底座 电机输出轴 输出轴连接 固定设置 上下升降 升降机构 手工打磨 效率低等 转轴末端 打磨盘 快速夹 转轴
【权利要求书】:

1.一种锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(4),其左上端设置有柜体(7),柜体(7)的上端设置有支撑架(9),支撑架(9)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(10)、与第一电机(10)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(12);底座(4)的上端设置有固定板(2),固定板(2)上固定设置支撑座(19),支撑座(19)上设置有直线导轨(16),直线导轨(16)上安装有升降座(18),升降座(18)与升降机构连接实现上下升降,升降座(18)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(15),锑化镓单晶片(14)安装在真空吸盘(15)上。

2.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,升降机构包括滚珠丝杆(17)和第三电机(1),滚珠丝杆(17)与第三电机(1)的输出轴连接,滚珠丝杆(17)的螺母与升降座(18)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,固定板(2)通过螺栓连接在底座(4)上,且固定板(2)在底座(4)上左右位置可以进行调节。

4.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,第一电机(10)和真空吸盘(15)的顶部设置有保护罩(20)。

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