[发明专利]一种PVD镀膜上下料除尘系统

权利要求书

1.一种PVD镀膜上下料除尘系统，包括工作台(1)和用于容纳成品或原料的料盘部(2)，所述料盘部(2)包括相互盖合的治具板(21)和盖板(22)，其特征在于，还包括：

循环组件(3)，其设置在所述工作台(1)上，多个所述料盘部(2)设置在所述循环组件(3)上并由所述循环组件(3)带动在多个预设位置之间移动，且多个所述料盘部(2)的运动轨迹封闭；

除尘组件(4)，其设置在所述工作台(1)的一侧，所述除尘组件(4)能抓取所述循环组件(3)的一个预设位置上的盖板(22)以进行除尘，并将除尘后的盖板(22)盖设另一个预设位置的所述治具板(21)内的所述原料上。

2.根据权利要求1所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述循环组件(3)包括循环动力源(31)和环型轨道(32)，所述环型轨道(32)上间隔设置有多个模座(33)，每个所述模座(33)上可拆卸设置有所述料盘部(2)，所述循环动力源(31)驱动所述环型轨道(32)转动，进而带动多个所述料盘部(2)转动。

3.根据权利要求2所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述环型轨道(32)呈腰形结构，其包括两个相互平行的第一直线段(321)和第二直线段(322)，以及分别连接所述第一直线段(321)和所述第二直线段(322)的第一弧线段(323)和第二弧线段(324)。

4.根据权利要求3所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述预设位置至少包括所述第一弧线段(323)上设置的第一预设位(001)，所述第一直线段(321)上设置的第二预设位(002)，和所述第二直线段(322)上设置的第六预设位(006)；其中所述第一预设位(001)、所述第二预设位(002)和所述第六预设位(006)位于所述除尘组件(4)的上方。

5.根据权利要求1所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述除尘组件(4)包括除尘工作台(41)、除尘部、传送部(42)、第一抓取组件(43)和第二抓取组件(44)，所述除尘工作台(41)位于所述循环组件(3)的下方；所述传送部(42)设置在除尘工作台(41)内，所述除尘部位于所述传送部(42)的底部并朝向所述传送部(42)设置；所述第一抓取组件(43)和所述第二抓取组件(44)均设置在工作台(1)上并均能抓取盖板(22)。

6.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述循环组件(3)部分伸出所述工作台(1)，所述除尘工作台(41)、所述除尘部和所述传送部(42)设置在所述循环组件(3)伸出所述工作台(1)的部分的下方，所述第一抓取组件(43)和第二抓取组件(44)对称设置在所述循环组件(3)的两侧。

7.根据权利要求6所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述除尘组件(4)还包括抽真空组件(45)，所述抽真空组件(45)设置在所述除尘工作台(41)的一侧，所述抽真空组件(45)通过管路与所述除尘部连通，所述抽真空组件(45)为所述除尘部提供负压。

8.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述第一抓取组件(43)包括固定在除尘工作台(41)上的支架(431)、设置在支架(431)上的Y向驱动组件(432)、连接所述Y向驱动组件(432)的自由端的X向驱动组件(433)、连接所述X向驱动组件(433)的自由端的Z向驱动组件(434)和连接在所述Z向驱动组件(434)自由端的第一抓取部(435)。

9.根据权利要求5所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述传送部(42)包括第一皮带轮(421)、第二皮带轮和绕设在所述第一皮带轮(421)和所述第二皮带轮上的皮带(422)，所述第一皮带轮(421)设置在靠近第一抓取组件(43)的一侧，所述第二皮带轮设置在靠近第二抓取组件(44)的一侧。

10.根据权利要求9所述的PVD镀膜上下料除尘系统，其特征在于，所述传送部(42)还包括设置在所述皮带(422)上的多个连接块(423)，相邻两个所述连接块(423)能对所述盖板(22)进行限位。