[发明专利]一种泵电流可调的NOx传感器芯片

权利要求书

1.一种泵电流可调的NOx传感器芯片，包括芯片基体(1)，其特征在于：所述芯片基体(1)上从上至下依次设置有保护层(2)、外电极(3)和进气口(11)；所述芯片基体(1)内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔(12)和第二内泵电极工作腔(13)，所述第一内泵电极工作腔(12)与进气口(11)连通，且第一内泵电极工作腔(12)内设置有表面覆盖层(4)、扩散障碍层(5)、粘结剂过渡层(6)、第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)；所述表面覆盖层(4)覆盖在所述扩散障碍层(5)的上表面上，通过对表面覆盖层(4)进行激光切割加工调整扩散障碍层(5)的尾气进入速度；所述扩散障碍层(5)的底面与粘结剂过渡层(6)粘接固定；所述第一内泵衔接电极(8)设置在第一内泵上电极(7)和第一内泵下电极(9)之间，且第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)连接后构成一个完整的第一内泵电极装置，且该第一内泵电极装置与外电极(3)一起构成第一组氧泵。

2.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述第一内泵电极工作腔(12)和第二内泵电极工作腔(13)之间设置有扩散通道(14)，所述第二内泵电极工作腔(13)内设置有第二内泵上电极(10)、第二内泵衔接电极(15)和第二内泵下电极(16)，所述第二内泵衔接电极(15)设置在第二内泵上电极(10)和第二内泵下电极(16)之间，且第二内泵上电极(10)、第二内泵衔接电极(15)和第二内泵下电极(16)连接后构成一个完整的第二内泵电极装置，且该第二内泵电极装置与外电极一起构成第二组氧泵。

3.根据权利要求2所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述第二内泵电极工作腔(13)右下端设置有反应电极(17)，所述反应电极(17)的上表面上设置有反应电极扩散层(18)。

4.根据权利要求3所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)位于第二内泵电极工作腔(13)的下方位置设置有参比空腔(19)，参比空腔(19)内设置有参比电极(20)，所述参比电极(20)通过参比空腔(19)与空气相通。

5.根据权利要求4所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)位于参比空腔(19)的下方位置设置有加热空腔(110)，所述加热空腔(110)内设置有加热电极(21)，所述加热电极(21)的上表面上设置有上绝缘层(22)，所述加热电极(21)的底面上设置有下绝缘层(23)。

6.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)由多层氧化锆流延片叠合而成。

7.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述表面覆盖层(4)由氧化锆材料制成。

8.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述扩散障碍层(5)由多孔的氧化锆材料组成；所述粘结剂过渡层(6)由氧化锆材料和扩散障碍层(5)的骨料按照1：1混合制作而成。