[发明专利]一种硅片生产用尺寸检测机构

说明书

本发明涉及一种硅片生产用尺寸检测机构，包括底板、检测台、调节机构和警报机构，所述底板上端面的中部安装有检测台，检测台与底板之间安装有调节机构，调节机构的右侧面安装有警报机构,底板的上端安装有检测台，检测台的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱，支撑柱的下端安装在底板的上端面，检测台的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆。本发明可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，可以实现对硅片尺寸的高效检测，具有操作简单、检测准确率高、检测效率高和合格产品与不合格产品区分便捷等优点。

技术领域

本发明涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用尺寸检测机构。

背景技术

随着科学技术的不断进步，硅片的生产技术也越来越成熟，硅片在芯片、电子、电池等领域得到了广泛的应用，硅片的加工大致经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，在整条生产线中有部分工艺采用机械操作，但是然存在部分工艺采用人工操作，其中去胶和检测两个步骤就采用人工为主。

在硅片加工的检测过程中，采用人工将硅片放置到花岗石测量仪器上对硅片的尺寸等进行检测，人工检测在操作时存在硅片固定复杂、人工眼看测量的尺寸效率低下、需要再次计算硅片尺寸是否在允许误差范围内、人工眼看测量的尺寸存在一定的错误率和合格产品和不合格产品容易混淆等问题。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种硅片生产用尺寸检测机构，可以解决人工对硅片尺寸进行检测时存在的硅片固定困难、人工检测效率低、需要再次计算尺寸是否在允许误差范围内、人工检测错误率高和合格产品与不合格产品容易混淆等问题，可以实现对硅片尺寸的高效检测，具有操作简单、检测准确率高、检测效率高和合格产品与不合格产品区分便捷等优点。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种硅片生产用尺寸检测机构，包括底板、检测台、调节机构和警报机构，所述底板上端面的中部安装有检测台，检测台与底板之间安装有调节机构，调节机构的右侧面安装有警报机构。

所述底板的上端安装有检测台，检测台的下端面沿其周向方向均匀安装有支撑柱，支撑柱的下端安装在底板的上端面，检测台的上端面沿其周向方向均匀设有检测电动推杆，检测电动推杆的顶端安装有放置板，放置板的中部设有圆孔，圆孔内安装有吸盘，工作时，将需要检测的硅片放置到吸盘上，硅片的中心对准吸盘的中心，检测电动推杆伸缩运动带动放置板上下运动，即可以带动待检测的硅片上下运动。

所述的调节机构包括转动支链，检测台下端面的中部安装有转动支链，转动支链的侧壁上螺纹连接有调节支链，转动支链包括螺纹筒，检测台下端面的中部安装有螺纹筒，螺纹筒的内部为中空结构且内部设有螺纹槽，螺纹筒内螺纹连接有螺杆，螺杆的下端安装有连接板，连接板的下端面与转动电机的输出轴相连接，转动电机通过电机座安装在支撑板的上端面，支撑板的下端面沿其周向方向均匀设有支撑弹簧，支撑弹簧的下端与底板相连接，调节支链包括调节台，相邻支撑柱之间安装有调节台，调节台的下端安装在底板的上端面上，调节台的内部设有调节孔，调节孔的上端面与下端面上下对称设有调节槽，调节槽的内部通过滑动配合的方式安装有调节滑条，上调节槽内的调节滑条与下调节槽内的调节滑条之间安装有调节杆，调节杆的前端面上设有第一刻度表，调节杆的右端面安装有螺纹板，螺纹板为弧形结构，螺纹板的右端面上设有螺纹齿，调节杆的左端面安装有支撑杆，支撑杆右端面的下端安装有调节弹簧，调节弹簧在弹簧槽内，弹簧槽在调节台的左侧面上，调节弹簧的右端与弹簧槽的右端面相连接，支撑杆右端面的上端安装有微调支链，工作时，根据硅片尺寸以及允许误差值确定硅片尺寸的最大允许值，转动电机通过连接板带动螺杆转动，螺杆转动会带动转动电机上下移动，支撑弹簧伸缩为转动电机上下移动提供条件，螺杆转动的同时上下移动并通过螺纹板带动调节杆左右移动，根据第一刻度表的刻度值来确定最大允许值的位置，可以将调节杆调节到需要的位置，从而可以简单的确定硅片的最大允许范围。