[发明专利]位移检测方式的六轴力传感器

权利要求书

1.一种六轴力传感器，其特征在于，

具备：

第一端部；

第二端部；

上述第一端部与上述第二端部之间的中间部；

第一连结部，其将上述第一端部和上述中间部以第一三自由度弹性地连结；

第二连结部，其将上述第二端部和上述中间部以第二三自由度弹性地连结；

第一检测部，其对伴随上述第一连结部的弹性变形的上述第一端部与上述中间部的相对位移进行检测，且基于该相对位移输出第一检测值，该第一检测值用于取得施加于上述第一端部或上述第二端部的力的第一轴的方向的第一力成分、与该第一轴正交的第二轴的方向的第二力成分、以及绕与该第一轴和该第二轴双方正交的第三轴的第三力矩成分；以及

第二检测部，其对伴随上述第二连结部的弹性变形的上述第二端部与上述中间部的相对位移进行检测，且基于该相对位移输出第二检测值，该第二检测值用于取得上述力的绕上述第一轴的第一力矩成分、绕上述第二轴的第二力矩成分、以及上述第三轴的方向的第三力成分，

上述第一轴和上述第二轴平行于上述第一端部的表面，

上述中间部、上述第一连结部以及上述第二连结部配置为，使上述力在上述第一连结部与上述第二连结部之间不沿上述中间部传播地施加于上述第一连结部及上述第二连结部双方。

2.根据权利要求1所述的六轴力传感器，其特征在于，

还具备运算部，该运算部使用上述第一检测值及上述第二检测值，运算上述第一力成分、上述第二力成分、上述第三力成分、上述第一力矩成分、上述第二力矩成分以及上述第三力矩成分。

3.根据权利要求1或2所述的六轴力传感器，其特征在于，

上述第一端部具有第一面，上述中间部具有与该第一面对置的第一中间面，在该第一面与该第一中间面之间形成具有静电电容的第一间隙，上述第一检测部通过检测该第一间隙的该静电电容的变化而输出上述第一检测值。

4.根据权利要求1或2所述的六轴力传感器，其特征在于，

上述第二端部具有第二面，上述中间部具有与该第二面对置的第二中间面，在该第二面与该第二中间面之间形成具有静电电容的第二间隙，上述第二检测部通过检测该第二间隙的该静电电容的变化而输出上述第二检测值。

5.根据权利要求1或2所述的六轴力传感器，其特征在于，

上述第一连结部具备在上述第一端部与上述中间部之间在沿着上述第三轴的方向上延伸的多个第一弹性梁，该多个第一弹性梁分别在受到上述力时以使上述第一端部和上述中间部相对性地产生在沿着包含上述第一轴及上述第二轴的假想平面的方向上的移动或绕沿着上述第三轴的中心轴线的旋转的方式弹性变形。

6.根据权利要求1或2所述的六轴力传感器，其特征在于，

上述第二连结部具备在上述第二端部与上述中间部之间在沿着上述第一轴及上述第二轴的方向延伸的多个第二弹性梁，该多个第二弹性梁分别在受到上述力时以使上述第二端部和上述中间部相对性地产生在沿着上述第三轴的方向上的移动或绕沿着包含上述第一轴及上述第二轴的假想平面的中心轴线的旋转的方式弹性变形。

7.根据权利要求1或2所述的六轴力传感器，其特征在于，

还具备配置于上述中间部与上述第一连结部之间的辅助连结部，该辅助连结部根据因上述力而产生的上述第二连结部的弹性变形而弹性变形。