[发明专利]一种生物针灸表面处理技术及设备

权利要求书

1.一种中医用针灸针的制备方法，其特征包括：

采用沉积方法为离子束技术；

基于离子束技术在针灸针身20-60mm高度内沉积电阻高于10MΩ，厚度1-6nm，硬度高于50GPa的类金刚石膜层，适用于大规模批量生产；

基于离子束技术同时在针灸针尖3-5mm高度内沉积硬度高于50GPa，电阻小于100Ω的类金刚石膜层；

在针身四面体碳表面通过光刻掩模方法沉积2-5μm宽，15-40mm长，1-2μm厚的三条导电通道，导电电极底端距针尖5-10mm，沉积速度不低于300nm/min；

利用针尖和针身上下分别施以不同方向、强度的电场，其中电场强度为100V/cm时，能够同时在针身和针尖分别沉积高电阻和低电阻的类金刚石膜层，但膜层纳米硬度无明显变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其制备的针灸针特征在于：

该针能大幅降低刺入压力，减轻患者疼痛感；

针灸针具备精准导入电流能力；

针灸针具备反馈生物电流信号能力。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：沉积时针灸针的温度不高于50℃，膜层表面粗糙度Ra不大于0.1。

4.根据权利要求1所述的方法，其离子束沉积方法特征在于：

离子束沉积采用磁过滤阴极弧沉积；

阴极靶材为碳，沉积真空不低于1×10^-3Pa，沉积速度大于50nm/min；

靶材起弧电流不高于30A，阴极起弧结构中配置辅助阳极以及永磁体磁场，辅助阳极为混合材料，内圈用导磁外圈用非导磁材料，永磁体的强度不高于20mT；

在辅助阳极和永磁体的配合下阴极靶材起弧电流最低可至10A。

5.根据权利要求1所述的方法，制备的导电通道其特征在于：

电阻小于100Ω，表面粗糙度Ra不大于0.1；

能够采用不同的核电子学方法进行生物电流信号测试。

6.一种表面处理的针灸针，其特征在于，由权利要求1至5任一项所述方法所制备。