[发明专利]基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置在审
| 申请号： | 201811377820.7 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109440070A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李小宝;周国山;夏佑科;沈玉军;陈慧娟;蔡渊 | 申请（专利权）人： | 东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导向槽 冷却装置 纳米涂层 出水口 溅射靶 进水口 一体成型的 冷却液体 包络线 密封性 内开 冷却 | ||
1.一种基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，包括一体成型的本体，所述本体内开设有进水口、出水口和用于限制冷却液体的导向槽，所述进水口和所述出水口分别设置在所述导向槽的两端；所述导向槽的包络线为矩形。
2.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述导向槽沿正弦函数或余弦函数的轨迹开设，所述正弦函数或所述余弦函数的最大值小于所述本体宽度的1/2。
3.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述导向槽的轨迹为利萨如曲线，利萨如图形沿X轴和Y轴的谐振动方程可表示为
X＝A 1sin(mωt+φ1)
Y＝A 2sin(nωt+φ2)
式中频率比为m∶n,频率参数m和n为互质的正整数；φ1和φ2为初相位参量,利萨如图形中质点的轨迹图线和运动走向取决于m、n与φ1、φ2。
4.如权利要求3所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述利萨如曲线的频率比为4:3、5:3或5:4。
5.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述进水口的位置高于所述出水口的位置，且所述进水口所在的平面与水平面的夹角为15-45度。
6.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述本体的上表面设置有导热硅胶。
7.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述本体的外壁涂覆有银层，所述银层的厚度为1-4um。
8.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述本体的材料为银、铜、金、铍、铝、氮化铝、钨或铁中一种或多种。
9.如权利要求1所述的基于IBAD纳米涂层设备的溅射靶冷却装置，其特征在于，所述本体上端部的厚度为5-10mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司，未经东部超导科技（苏州）有限公司;苏州新材料研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811377820.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
