[发明专利]测量装置以及测量装置系统

权利要求书

1.一种测量装置，其中，具有：

测距光射出部，射出测距光；

光接收部，对所述测距光被测定对象回归反射后的反射测距光和与该反射测距光同轴地入射的背景光进行光接收；

测距部，对所述反射测距光进行光接收来进行测距；

图像摄像部，对从所述反射测距光分离的背景光进行光接收，取得背景图像；

光轴偏向部，使所述测距光的光轴和所述背景光的光轴整体偏向；以及

运算控制部，对该光轴偏向部进行控制，

所述光轴偏向部具有：

将多个棱镜柱平行地排列的一对磁盘棱镜；

旋转驱动部，使该磁盘棱镜个别地旋转；以及

射出方向检测部，对所述各磁盘棱镜的旋转角度进行检测。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述测距光的波长与所述背景光的波长不同，所述运算控制部基于该波长特性、所述射出方向检测部的检测结果而在所述图像摄像部所取得的图像上对相对于由于所述光轴偏向部的波长特性产生的测距光轴的、光轴偏离进行校正。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的测量装置，其中，具备广角摄像部，所述广角摄像部取得广角图像，该广角摄像部的光轴与测距光轴平行且具有已知的关系，所述运算控制部基于测定点的测定时的由所述光轴偏向部得到的所述测距光轴的偏转角，在广角图像上示出测定点的测定位置。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的测量装置，其中，具有跟踪部，所述跟踪部以与所述测距光相同光轴照射跟踪光，从测定对象光接收反射跟踪光来进行跟踪，所述背景光包含所述跟踪光的波长，兼用所述图像摄像部和所述跟踪部。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的测量装置，其中，从所述反射测距光分离所述背景光的光学构件将所述反射测距光以外的波长分离，所述图像摄像部所取得的背景图像为RGB的彩色图像，基于所述光轴偏向部的控制信息来校正RGB的图像偏差。

6.一种测量装置，其中，被构成为具有：

测距光射出部，射出测距光；

光接收部，对所述测距光被测定对象回归反射后的反射测距光和与该反射测距光同轴地入射的反射跟踪光进行光接收；

测距部，对所述反射测距光进行光接收来进行测距；

跟踪部，以与测距光轴相同光轴射出跟踪光，对从所述反射测距光分离的所述反射跟踪光进行光接收，对该反射跟踪光与所述测距光轴的偏差进行检测，基于该偏差来运算跟踪控制信息来进行跟踪；

光轴偏向部，使所述测距光和所述跟踪光整体偏向；以及

运算控制部，对该光轴偏向部进行控制，将所述测距光轴朝向测定对象来进行测定，

所述光轴偏向部具有：

将多个棱镜柱平行地排列的一对磁盘棱镜；

旋转驱动部，使该磁盘棱镜个别地旋转；以及

射出方向检测部，对所述各磁盘棱镜的旋转角度进行检测，

所述跟踪控制信息包含所述射出方向检测部的检测结果，基于所述跟踪控制信息来控制所述光轴偏向部。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其中，所述测距光的波长与所述跟踪光的波长不同，所述运算控制部基于该波长特性、所述射出方向检测部的检测结果而在所述跟踪部所取得的图像上对相对于由于所述光轴偏向部的波长特性产生的测距光轴的、光轴偏离进行校正，基于校正结果来执行跟踪。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其中，所述跟踪光具有相对于由于所述光轴偏向部的波长特性产生的测距光轴的、最大的光轴偏离以上的宽度。

9.一种测量装置系统，其中，被构成为具备：

根据权利要求1~权利要求8的任一项所述的测量装置；

支承装置，用于设置该测量装置；以及

作为所述测量装置的支承部的设置台单元，

该设置台单元具有：

旋转驱动部，将所述测量装置沿水平方向、铅垂方向旋转驱动；以及

角度检测器，对水平旋转角、铅垂旋转角进行检测，

所述运算控制部对所述光轴偏向部的旋转驱动部进行控制来执行测定对象的跟踪，并且，对所述设置台单元的所述旋转驱动部和所述光轴偏向部的所述旋转驱动部进行控制，以使测距光轴的偏向角为0。