[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，具备：第1光源，其出射加工用的激光；第2光源，其出射波长与所述加工用的激光不同的焦点确认用的激光；焦点透镜，其使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光分别同轴地朝向对象物聚光；反射镜机构，其将透过了所述焦点透镜的激光向对象物侧反射；和透镜驱动机构，其使所述焦点透镜在激光的光轴方向上移动，所述激光加工装置使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光经由所述焦点透镜和所述反射镜机构向对象物照射，其特征在于，

所述激光加工装置具备：

加工用相关数据管理部，其管理将加工用的激光在对象物上聚焦的所述焦点透镜的光轴方向的位置与利用所述焦点透镜使加工用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的加工用的焦点位置对应起来的加工用相关数据；

焦点确认用相关数据管理部，其管理或者制作将加工用的激光在对象物上聚焦的所述焦点透镜的光轴方向的位置与利用所述焦点透镜使焦点确认用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的焦点确认用的焦点位置对应起来的焦点确认用相关数据；和

透镜驱动机构控制部，其在第1模式下，在所述加工用相关数据中，基于与作为目标的加工用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动，在第2模式下，在所述焦点确认用相关数据中，基于与作为目标的焦点确认用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动。

2.一种激光加工装置，具备：第1光源，其出射加工用的激光；第2光源，其出射波长与所述加工用的激光不同的焦点确认用的激光；焦点透镜，其使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光分别同轴地朝向对象物聚光；反射镜机构，其将透过了所述焦点透镜的激光向对象物侧反射；和透镜驱动机构，其使所述焦点透镜在激光的光轴方向上移动，所述激光加工装置使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光经由所述焦点透镜和所述反射镜机构向对象物照射，其特征在于，

所述激光加工装置具备：

加工用相关数据管理部，其管理将加工用的激光在对象物上聚焦的所述焦点透镜的光轴方向的位置与利用所述焦点透镜使加工用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的加工用的焦点位置对应起来的加工用相关数据；

焦点确认用相关数据管理部，其基于所述加工用相关数据中的加工用的所述焦点位置与预先设定的修正系数，计算利用所述焦点透镜使焦点确认用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的焦点确认用的焦点位置，制作将所述焦点透镜的光轴方向的位置与焦点确认用的所述焦点位置对应起来的焦点确认用相关数据；和

透镜驱动机构控制部，其在第1模式下，在所述加工用相关数据中，基于与作为目标的加工用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动，在第2模式下，在由所述焦点确认用相关数据管理部制作的所述焦点确认用相关数据中，基于与作为目标的焦点确认用的所述焦点位置对应的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动。

3.一种激光加工装置，具备：第1光源，其出射加工用的激光；第2光源，其出射波长与所述加工用的激光不同的焦点确认用的激光；焦点透镜，其使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光分别同轴地朝向对象物聚光；反射镜机构，其将透过了所述焦点透镜的激光向对象物侧反射；和透镜驱动机构，其使所述焦点透镜在激光的光轴方向上移动，所述激光加工装置使从所述第1光源或者所述第2光源出射的激光经由所述焦点透镜和所述反射镜机构向对象物照射，其特征在于，

所述激光加工装置具备：

位置数据计算部，其在第1模式下，通过以利用所述焦点透镜使加工用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的焦点位置的目标值与针对加工用的激光设定的第1系数为参数的第1变换式，计算加工用的激光在对象物上聚焦的所述焦点透镜的光轴方向的位置，在第2模式下，通过以利用所述焦点透镜使加工用的激光以在对象物上聚焦的方式聚光时的光轴方向上的所述焦点位置的目标值与针对焦点确认用的激光设定的第2系数为参数的第2变换式，计算所述焦点透镜的光轴方向的位置；和

透镜驱动机构控制部，其在所述第1模式下，基于在所述位置数据计算部中通过所述第1变换式计算的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动，在所述第2模式下，基于在所述位置数据计算部中通过所述第2变换式计算的所述焦点透镜的光轴方向的位置，使所述焦点透镜在光轴方向上移动。