[发明专利]一种集成微凹面镜的SERS基底及其制备方法在审
| 申请号： | 201811353188.2 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109467043A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈李;杨峰;李丹阳;毛明健;徐溢 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人： | 康海燕 |
| 地址： | 400030 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹面镜 基底 凹面镜阵列 高反射膜 制备 一致性和稳定性 制备方法工艺 衬底表面 纳米颗粒 衬底 沉积 附着 | ||
1.一种集成微凹面镜的SERS基底，包括衬底，其特征在于：在衬底表面设有微凹面镜阵列，所述微凹面镜阵列上沉积有高反射膜，所述高反射膜上附着有纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的集成微凹面镜的SERS基底，其特征在于：所述微凹面镜阵列采用各向同性湿法腐蚀制得，单个微凹面镜的直径为1~300μm。
3.根据权利要求1或2所述的集成微凹面镜的SERS基底，其特征在于：所述高反射膜为金属膜，所述金属膜的材质为金、铂、铝或铬。
4.根据权利要求1或2所述的集成微凹面镜的SERS基底，其特征在于：所述纳米颗粒为贵金属纳米材料或复合纳米材料，所述贵金属纳米材料的材质为金、银或铜，所述复合纳米材料的材质为金核银壳、银核金壳、金/银核二氧化硅壳或金/银核石墨烯壳。
5.根据权利要求1或2所述的集成微凹面镜的SERS基底，其特征在于：所述衬底的材质为半导体、玻璃、陶瓷或蓝宝石。
6.根据权利要求1或2所述的集成微凹面镜的SERS基底，其特征在于：所述高反射膜的厚度为50~300nm，所述纳米颗粒的粒径为30~100nm。
7.一种集成微凹面镜的SERS基底的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
1）在衬底表面制备孔结构阵列；
2）配制蚀刻剂，使用蚀刻剂对衬底进行各向同性湿法腐蚀，在衬底表面得到微凹面镜；
3）在微凹面镜上沉积高反射膜；
4）将纳米颗粒附着在高反射膜表面，得到集成微凹面镜的SERS基底。
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