[发明专利]一种ITO蚀刻液调控装置

权利要求书

1.一种ITO蚀刻液调控装置，包括ITO玻璃板（18），其特征在于：

包括装置本体（1），所述装置本体（1）内固定装设有盛放蚀刻液的第一储液盒体（2）和盛放冲洗液的第二储液盒体（3）；

所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）中都设有用于监测当前盒内液体量的液位传感器；

所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）中都设有监测当前盒内液体温度的温度传感器；

包括安装在装置本体（1）内的第一固定支撑板（8）；

所述第一固定支撑板（8）上活动装设有一对第一滑动板块（9）；

所述第一滑动板块（9）上固定装设有液体喷头（10）；

所述第一储液盒体（2）与其中一个液体喷头（10）之间通过供液软连管（7）相连通；

所述第二储液盒体（3）与另外一个液体喷头（10）之间通过供液软连管（7）相连通；

所述第一固定支撑板（8）的两侧都设有液体喷头（10）相配合的边侧限位挡板（11）；

所述装置本体（1）一组对侧面上固定装设有一对对称分布的转动调节动力装置（16）；

所述转动调节动力装置（16）的输出转轴上垂直固定连接有竖向挡连板（17）；

所述竖向挡连板（17）的一侧面板上固定装设有若干用于支撑ITO玻璃板（18）的第一限位凸起块（19）；

所述竖向挡连板（17）的一侧面板上固定装设有一对用于ITO玻璃板（18）两侧限位的第二限位凸起块（20）；

所述装置本体（1）另一组对侧面上活动装设有一对第一伸缩动力装置（23）；

所述第一伸缩动力装置（23）的输出轴上设有第一伸缩连杆（24）；

所述第一伸缩连杆（24）的端侧活动连接有第一调位连杆（26）；

所述第一调位连杆（26）上垂直固定连接有第一延伸连杆（27）；

所述第一调位连杆（26）的端侧装设有压位导轮（28）；

所述第一延伸连杆（27）的端侧装设有压位导轮（28）；

所述竖向挡连板（17）的端侧倾斜连接有用于保护转动调节动力装置（16）的挡液斜连板（21）；

所述第二限位凸起块（20）位于若干第一限位凸起块（19）的斜上侧；

所述装置本体（1）上固定连接有第一边位环板（29）；

所述第一边位环板（29）与第一伸缩动力装置（23）之间设有用于第一伸缩动力装置（23）活动调节的第一轴承机构（30）；

所述第一伸缩连杆（24）上固定连接有与第一调位连杆（26）相配合的第一卡位连板（25）；

所述第一调位连杆（26）上固定设有第二卡位环板（31）；

所述第一调位连杆（26）上套设有位于第一卡位连板（25）与第二卡位环板（31）之间的第一调节弹簧（32）；

所述第二限位凸起块（20）上开设有与压位导轮（28）相配合的导槽结构；

所述压位导轮（28）的行程路径与第一限位凸起块（19）的位置相配合。

2.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：

所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）所在的装置本体（1）的壳体上设有进液管（4）；

所述第一储液盒体（2）和第二储液盒体（3）上都连接有回液连管（22）。

3.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：

所述第一滑动板块（9）上固定装设有位置调节动力装置（13）；

所述位置调节动力装置（13）的输出轴上装设有行程导轮（14）；

所述第一固定支撑板（8）上开设有行程导轮（14）相配合的行程导槽（15）。

4.根据权利要求1所述的一种ITO蚀刻液调控装置，其特征在于：

所述边侧限位挡板（11）上开设有与液体喷头（10）相配合的挡板限位槽（12）。