[发明专利]一种针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备

说明书

本发明公开了一种针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备，所述清洗设备包括设置在机架上的清洗本体和清洗装置，所述清洗装置设于清洗本体内。本发明提供的针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备，通过设置清洗装置在清洗本体内实现清洗，防止了有毒物质溅射造成人身伤害和环境污染。另外，通过本发明可直接实现污染部件的清洗，无需转移至外部清洗公司，大大降低了清洗周期和清洗成本。

技术领域

本发明涉及半导体清洗领域，尤其涉及一种针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备。

背景技术

半导体行业由于工艺需求，产生的固体或者液体废物沾满设备部件内部，导致部件性能降低无法继续使用。

目前，在实际处理中，为了清洗相应的污染部件，由于清洗设备占用体积较大、污染等原因，导致生产车间需要将部件外送至专门的清洗厂家进行清洗。

如此耗费运输工时、包装工时，导致周期过长、成本较高，且生产率下降；而自行清洗废弃物具有与空气燃烧的现象，会产生二次污染，易造成人生伤害。

发明内容

本发明的目的是提供一种针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备，以解决现有技术中的问题，对污染部件进行清洗处理，避免人身伤害，降低清洗成本，提高生产效率。

本发明提供一种针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备，其中，所述清洗设备包括设置在机架上的清洗本体和清洗装置，所述清洗装置设于清洗本体内。

优选地，所述清洗设备还包括传送装置，所述传送装置包括：

至少一个传送部，用于传送所述污染部件；

与所述传送部配合的传送轨道，所述传送部可沿所述传送轨道将所述污染部件传送至所述清洗本体内；

驱动机构，与所述传送部或所述传送轨道连接，用于驱动所述传送部或所述传送轨道运动。

优选地，所述传送部包括：

转盘，用于装载所述污染部件；

旋转机构，与所述转盘连接，用于驱动所述转盘旋转。

优选地，所述清洗装置包括：

设置在所述清洗本体上方的升降装置；

在所述升降装置的升降杆上设置有喷头，所述升降杆可带动所述喷头上下运动，所述喷头用于清洗所述污染部件的内侧。

优选地，所述清洗装置还包括：设置在所述清洗本体内侧的多个喷嘴，所述喷嘴用于清洗所述污染部件的外侧。

优选地，所述清洗设备还包括油水过滤分离装置，所述油水过滤分离装置与清洗装置连接。

优选地，所述油水过滤分离装置包括与所述清洗本体底部依次连通的油水分离器、粗过滤器和精过滤器。

优选地，所述清洗本体为封闭结构，且所述清洗本体上设置有可视窗口和操作孔。

优选地，所述清洗本体顶部设置有排雾风机。

优选地，所述清洗设备还包括控制箱，所述控制箱分别与所述清洗本体、所述传送装置、所述清洗装置、所述油水过滤分离装置连接。

本发明提供的针对含有砷、磷污染物部件的清洗设备，通过设置清洗装置在清洗本体内实现清洗，防止了有毒物质溅射造成人身伤害和环境污染。另外，通过本发明可直接实现污染部件的清洗，无需转移至外部清洗公司，大大降低了清洗周期和清洗成本。