[发明专利]切削装置

说明书

提供切削装置，能够降低用于实施端面修正的工时，能够容易地实施端面修正。该切削装置具有：卡盘工作台，其对板状的被加工物进行保持；切削单元，其利用固定于主轴的前端的安装凸缘来固定切削刀具，对卡盘工作台所保持的被加工物进行切削；分度进给单元，其使切削单元在与主轴的轴心方向平行的分度进给方向上移动；加工进给单元，其使卡盘工作台在与分度进给方向垂直的加工进给方向上移动；以及端面修正单元，其对接触切削刀具而进行支承的安装凸缘的端面进行修正，加工进给单元具有：移动基台，其对卡盘工作台进行支承；以及驱动部，其使移动基台移动，端面修正单元被固定于移动基台上。

技术领域

本发明涉及切削装置，其具有对安装凸缘的端面进行修正的端面修正单元。

背景技术

通常对晶片等被加工物进行切削的切削装置通过安装凸缘将切削刀具固定于主轴的前端。安装凸缘具有与切削刀具的一个侧面接触的环状的端面，切削刀具在与该端面接触的状态下被安装凸缘和固定螺母夹持。在这种安装凸缘中，当在端面上产生附着物或刮伤而在端面上产生凹凸时，则会导致切削刀具被该端面部分地夹持。另外，存在端面被设定成相对于与主轴的旋转轴垂直的面倾斜的情况等。于是，会导致切削刀具被端面部分地夹持，在切削时切削刀具容易相对于旋转轴抖动、或倾斜地旋转，从而成为被加工物的缺损或切削刀具的破损的原因。因此，定期地或在安装凸缘更换时实施如下的端面修正的作业：利用研磨磨具对该安装凸缘的端面进行研磨而使端面成为与旋转轴垂直且平坦的面(例如，参照专利文献1、专利文献2)。

专利文献1：日本特开平08-339977号公报

专利文献2：日本特开2017-019043号公报

但是，上述的端面修正的作业是使被加工物的加工(生产)停止而实施的。具体而言，将固定有研磨磨具的专用治具固定于卡盘工作台，使研磨磨具与旋转的安装凸缘的端面接触而对该端面进行研磨。因此，在端面修正的作业中，需要进行下述操作：将卡盘工作台更换为专用卡盘工作台，准备专用治具，进行将研磨磨具与端面定位于规定的位置的调整，在研磨后更换为原来的卡盘工作台，使切削刀具与更换后的卡盘工作台的表面接触而再次设定切入进给方向的基准位置，从而存在下述问题：端面修正的作业非常花费工时且变得繁杂。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供切削装置，能够降低用于实施端面修正的工时，能够容易地实施端面修正。

为了解决上述课题实现目的，本发明是切削装置，其具有：卡盘工作台，其对板状的被加工物进行保持；切削单元，其利用固定于主轴的前端的安装凸缘来固定切削刀具，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削；分度进给单元，其使该切削单元在与该主轴的轴心方向平行的分度进给方向上移动；加工进给单元，其使该卡盘工作台在与该分度进给方向垂直的加工进给方向上移动；以及端面修正单元，其对接触该切削刀具而进行支承的该安装凸缘的端面进行修正，其中，该加工进给单元具有：移动基台，其对该卡盘工作台进行支承；以及驱动部，其使该移动基台移动，该端面修正单元被固定于该移动基台上。

根据该结构，将对安装凸缘的端面进行修正的端面修正单元设置于使卡盘工作台在加工进给方向上移动的加工进给单元的移动基台上，因此无需更换为专用卡盘工作台、无需另外准备专用治具，能够实现降低用于实施端面修正的工时，能够容易地实施端面修正。

在该结构中，也可以是，该端面修正单元具有：固定部，其对研磨磨具进行固定；以及定位单元，其将该固定部定位于使该研磨磨具与该安装凸缘的该端面接触的作用位置和从该安装凸缘退避的退避位置。根据该结构，定位单元在被加工物的加工时将对研磨磨具进行固定的固定部定位于从安装凸缘退避的退避位置，因此防止研磨磨具和固定部阻碍切削单元的加工动作。另外，定位单元在被加工物的加工停止时将对研磨磨具进行固定的固定部定位于使研磨磨具与安装凸缘的端面接触的作用位置，因此能够容易地实施端面修正的作业。