[发明专利]一种利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备及其监测方法

权利要求书

1.一种利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备，其特征在于，包括光致发光监测装置以及检测分析系统，所述光致发光监测装置的光线监测数据传输至检测分析系统，所述光致发光监测装置包括激光源、伸缩透镜、单色仪、光电倍增管以及锁相放大器，所述伸缩透镜和单色仪设置在真空密封舱内，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热台，以及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述激光源设置在真空密封舱的外部，所述激光源发出的激光通过激光通道后照射到真空密封舱内部的钙钛矿太阳能电池基片表面，使沉积在所述钙钛矿太阳能电池基片表面的钙钛矿薄膜受激辐射后产生激发光，激发光通过伸缩透镜收集进入单色仪后被分解成单色光，该单色光通过光电倍增管转换成电信号后进入锁相放大器，经过锁相放大器放大的电信号输送至检测分析系统，所述检测分析系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。

2.如权利要求1所述的利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备，其特征在于，所述激光通道包括滤光片、反射镜和通道透镜，所述激光光线通过滤光片进入激光通道后再经反射镜变化光路以及通道透镜转换汇集后照射到钙钛矿太阳能电池基片表面上。

3.如权利要求1所述的利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备，其特征在于，所述伸缩透镜通过连接杆的伸缩控制其自动伸缩。

4.如权利要求1所述的利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备，其特征在于，所述光致发光监测装置的测试次数与时间间隔由检测分析系统设置。

5.一种如权利要求1至4中任意一项所述的利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备的监测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、所述钙钛矿太阳能电池基片放置在真空密封舱内，开启真空密封舱内的蒸发源对钙钛矿太阳能电池基片进行化学物质蒸镀加工；

S2、开启所述光致发光监测装置以及检测分析系统，所述激光源发出的激光通过激光通道后照射到钙钛矿太阳能电池基片表面，使沉积在钙钛矿太阳能电池基片表面的钙钛矿薄膜受激辐射后会产生激发光，所述激发光通过伸缩透镜进入单色仪并分解成单色光，所述单色光经光电倍增管进入锁相放大器，所述锁相放大器将放大的电信号传输至检测分析系统，再由此系统分析后反馈于蒸发控制系统，从而通过所述蒸发控制系统调节蒸镀参数，控制反应进程；

S3、所述钙钛矿太阳能电池基片蒸镀加工完成后，经传送带或其他方式从真空密封舱内取出。

6.如权利要求5所述的利用光致发光对钙钛矿薄膜检测的设备的监测方法，其特征在于，在步骤S2的反应过程中，所述光致发光监测装置的测试次数与时间间隔由检测分析系统设置。