[发明专利]一种半导体芯片封装方法在审
| 申请号: | 201811341983.X | 申请日: | 2018-11-12 | 
| 公开(公告)号: | CN109473364A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 | 
| 发明(设计)人: | 俞国庆 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 | 
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 | 
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李庆波 | 
| 地址: | 226000 *** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 透明保护层 金属件 半导体芯片封装 电路板 第一端 感光区 焊盘 导电性能 电性连接 感光效果 正面设置 电连接 背对 折板 封装 申请 背面 | ||
1.一种半导体芯片封装方法,其特征在于,所述封装方法包括:
提供芯片,所述芯片包括正面和背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘,且所述焊盘背对所述芯片一侧形成有金属件,所述芯片的正面形成有透明保护层,且所述金属件的第一端凸出于所述透明保护层,以从所述透明保护层露出;
利用具有导电性能的折板电性连接所述金属件的所述第一端和电路板,以使得所述芯片与所述电路板电连接。
2.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述提供芯片,所述芯片包括正面和背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘,且所述焊盘背对所述芯片一侧形成有金属件,所述芯片的正面形成有透明保护层,且所述金属件的第一端从所述透明保护层露出,包括:
提供圆片,所述圆片设有多个矩阵排列的芯片,所述芯片之间设有划片槽,所述圆片包括正面及背面,所述芯片的正面即所述圆片的正面,所述芯片的背面即所述圆片的背面,所述芯片的正面设置有感光区和位于感光区周围的焊盘;
在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属件;
在所述芯片正面形成透明保护层,所述透明保护层覆盖所述感光区,且所述透明保护层与所述芯片的所述正面之间的高度小于所述金属件的所述第一端与所述芯片的所述正面之间的高度,所述金属件的第一端从所述透明保护层露出;
对所述圆片的所述划片槽进行切割,以切割掉划片槽对应的圆片和透明保护层,进而获得单颗芯片。
3.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于,所述在所述芯片正面形成透明保护层,包括:
在所述芯片正面利用旋涂、点胶或印刷的方式形成所述透明保护层,并使所述透明保护层固化。
4.根据权利要求3所述的封装方法,其特征在于,所述使所述透明保护层固化包括:
利用紫外线照射或者烘烤的方式使所述透明保护层固化。
5.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,
所述在所述芯片正面形成透明保护层之前,所述方法包括:在所述金属件的所述第一端表面设置阻挡层;
所述在所述芯片正面形成透明保护层之后,所述方法包括:去除所述阻挡层,以使所述第一端表面露出。
6.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于,所述金属件为金属凸柱,所述在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属件,包括:
利用电镀工艺在所述焊盘背对所述芯片一侧形成金属凸柱。
7.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板包括互相连接的第一部和第二部;所述第一部与所述芯片的正面平行,且所述第一部沿朝向所述芯片方向延伸;所述第二部与所述芯片的侧壁平行,且所述第二部紧靠所述芯片的侧壁设置;所述第一部与所述金属件的所述第一端电连接,所述第二部面向所述电路板一侧与所述电路板电连接。
8.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板包括第一部、第二部、第三部;其中,所述第一部通过所述第二部与所述第三部连接,所述第一部与所述芯片的正面平行,且所述第一部沿朝向所述芯片方向延伸;所述第二部与所述芯片的侧壁平行,且所述第二部紧靠所述芯片的侧壁设置;所述第三部向远离芯片方向延伸,且所述第三部与所述电路板的表面平行,所述第一部与所述金属件的所述第一端电连接,所述第三部面向所述电路板一侧与所述电路板电连接。
9.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述折板为全金属材料;或者,所述折板包括金属材料和位于金属材料周围的绝缘材料。
10.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于,所述利用具有导电性能的折板电性连接所述金属件的所述第一端和电路板之前,所述方法包括:利用胶膜将所述芯片的背面与所述电路板固定。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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